[发明专利]一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法

权利要求书

1.一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法，采用电镀电源，基材，珠子以及阳极板进行机械研磨酸性镀铜，通过采用机械研磨电镀铜装置，使珠子在电镀的过程中主要以滚动方式在基材表面运动；其特征具体步骤如下：

（1）将电镀槽底部加工出一个与试样大小一样的凹槽，试验时试样水平放置于电镀槽底部的凹槽中，然后加入珠子；

（2）在阴极的正上方放一块阳极板；

（3）将整个电镀槽置于机械研磨酸性镀铜装置的试样台上；

（4）打开电镀电源以及HY-多功能振荡器的垂直振动功能便可进行机械研磨酸性电镀铜。

2.根据权利要求1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法，其特征在于：所述珠子为玻璃珠、ZrO₂、Al₂O₃或者SiO₂耐酸性圆珠的一种或几种。

3.根据权利要求1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法，其特征在于：所述镀槽采用标定容积约为500mL的普通玻璃烧杯，试样与烧杯底部通过环氧树脂固定。

4.根据权利要求1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法，其特征在于：所述阳极板为铜板。

5.根据权利要求1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法，其特征在于：电镀槽采用酸性镀铜槽，其配方采用普通的硫酸和硫酸铜体系，为硫酸60g/L，硫酸铜200g/L，总溶液为300mL。

6.根据权利要求1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法，其特征在于：所述电镀时使镀槽做与竖直方向夹角为5-10度的摇摆运动，摇摆频率为1.0-3.0Hz。

7.根据权利要求书1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法，其特征在于：所述的方法通过改变不同直径的珠子以及不同振动频率，可以研究不同滚动机械能对酸性镀铜层的晶粒度、耐蚀性、以及镀层与基材结合性能的影响。