[发明专利]一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法在审

专利信息
申请号: 201410716439.4 申请日: 2014-12-02
公开(公告)号: CN104404586A 公开(公告)日: 2015-03-11
发明(设计)人: 冯长杰;王春霞;周雅;杜楠 申请(专利权)人: 南昌航空大学
主分类号: C25D5/22 分类号: C25D5/22
代理公司: 南昌洪达专利事务所 36111 代理人: 刘凌峰
地址: 330000 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 机械 滚动 研磨 酸性 镀铜 方法
【权利要求书】:

1.一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法,采用电镀电源,基材,珠子以及阳极板进行机械研磨酸性镀铜,通过采用机械研磨电镀铜装置,使珠子在电镀的过程中主要以滚动方式在基材表面运动;其特征具体步骤如下:

(1)将电镀槽底部加工出一个与试样大小一样的凹槽,试验时试样水平放置于电镀槽底部的凹槽中,然后加入珠子;

(2)在阴极的正上方放一块阳极板;

(3)将整个电镀槽置于机械研磨酸性镀铜装置的试样台上;

(4)打开电镀电源以及HY-多功能振荡器的垂直振动功能便可进行机械研磨酸性电镀铜。

2.根据权利要求1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法,其特征在于:所述珠子为玻璃珠、ZrO2、Al2O3或者SiO2耐酸性圆珠的一种或几种。

3.根据权利要求1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法,其特征在于:所述镀槽采用标定容积约为500mL的普通玻璃烧杯,试样与烧杯底部通过环氧树脂固定。

4.根据权利要求1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法,其特征在于:所述阳极板为铜板。

5.根据权利要求1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法,其特征在于:电镀槽采用酸性镀铜槽,其配方采用普通的硫酸和硫酸铜体系,为硫酸60g/L,硫酸铜200g/L,总溶液为300mL。

6.根据权利要求1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法,其特征在于:所述电镀时使镀槽做与竖直方向夹角为5-10度的摇摆运动,摇摆频率为1.0-3.0Hz。

7.根据权利要求书1所述的一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法,其特征在于:所述的方法通过改变不同直径的珠子以及不同振动频率,可以研究不同滚动机械能对酸性镀铜层的晶粒度、耐蚀性、以及镀层与基材结合性能的影响。

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