[发明专利]电性检测机台在审
申请号: | 201410718463.1 | 申请日: | 2014-12-02 |
公开(公告)号: | CN104714056A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 顾伟正;吕绍玮;宋宏志;陈俊男 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 机台 | ||
1.一种电性检测机台,用于对一待测物进行电性检测,且包括:
一机台,具有相平行的二第一导轨;
一承台,设于该机台上,且用于供该待测物放置;
一探针架,设于该机台上不同该承台设置处的位置上,且具有多个设置区;
一支架,设于该二第一导轨上,且可沿该二第一导轨相对该机台与该承台移动,并具有一第二导轨;
一检测臂,设于该第二导轨,且位于该承台上方,并可被该支架带动而与该支架同步移动,且可沿该第二导轨相对该支架移动;
一安置座,设于该检测臂上,并可被该检测臂带动而与该检测臂同步移动,且可相对该检测臂转动或移动;以及
多个探针组,其中一探针组以可拆装的方式设于该安置座上,而其他探针组则分别已可拆装的方式设于该探针架的设置区上;另外,该设于该安置座上的探针组可被该安置座带动而与该安置座同步移动,且用于供与放置于该承台上的该待测物上的待测部位抵接以进行电性检测。
2.如权利要求1所述的电性检测机台,其特征在于,各该探针组具有至少二探针,且该二探针间的间距不同于其他该探针组的二探针间的间距。
3.如权利要求1所述的电性检测机台,其特征在于,该探针架还具有一架体以及多个定位柱,该架体具有所述设置区,且该架体上对应所述设置区处分别具有一第一穿孔;各该探针组分别具有一嵌架,且该嵌架上具有一第二穿孔;所述探针组设于该探针架上时,该嵌架与该架体抵接,且该第二穿孔正对该第一穿孔,而所述定位柱各别穿设于对应的第一穿孔以及该第二穿孔中,且所述定位柱则可相对该架体移动,而各别穿设于对应的第一穿孔以及该第二穿孔中、或是与该第一穿孔以及该第二穿孔分离。
4.如权利要求3所述的电性检测机台,其特征在于,该探针架还具有一定位驱动器连接该架体,用于驱动该架体移动,而使所述定位柱同步地相对该架体移动。
5.如权利要求4所述的电性检测机台,其特征在于,该机台上还具有一第三导轨;该架体设于该第三导轨上,而可受该定位驱动器驱动沿该第三导轨移动。
6.如权利要求3所述的电性检测机台,其特征在于,该探针架还具有一定位驱动器连接所述定位柱,用于同时驱动所述定位柱同步位移。
7.如权利要求1所述的电性检测机台,其特征在于,所述第一轨道提供的移动轨迹垂直于该第二轨道提供的移动轨迹。
8.如权利要求5所述的电性检测机台,其特征在于,所述第一轨道提供的移动轨迹平行于该第三轨道提供的移动轨迹。
9.如权利要求1所述的电性检测机台,其特征在于,该探针架上具有多个插孔,且所述探针组各别具有一插销;所述探针组设于该探针架上时,所述插销分别与所述插孔结合。
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