[发明专利]一种回收氯硅烷不凝尾气的装置有效
| 申请号： | 201410721644.X | 申请日： | 2014-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN104495854A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 唐东昌;董海涛;朱明龙;李彦 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司62002 | 代理人： | 李艳华 |
| 地址： | 810007青海省*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 回收 硅烷 尾气 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种回收氯硅烷不凝尾气的装置，其特征在于：该装置包括气气换热器（2）、尾气吸收塔（4）、回流液直冷器（7）；所述气气换热器（2）的一端分别设有尾气进料管线（1）、系统尾气出口（3），其另一端则分别设有管道Ⅰ（10）、管道Ⅱ（12）；所述尾气吸收塔（4）的顶部设有气相出口（9），其一侧设有回流液入口（8）；所述管道Ⅱ（12）的末端与所述气相出口（9）相连；所述管道Ⅰ（10）的末端与所述尾气吸收塔（4）中塔釜的顶部相连；所述尾气吸收塔（4）中塔釜内通过管道Ⅲ（11）连有氯硅烷输送泵（5），该氯硅烷输送泵（5）分别与所述回流液直冷器（7）的底部、管道Ⅳ（6）相连；所述回流液直冷器（7）的顶部通过管道Ⅴ（13）与所述回流液入口（8）相连。
2.如权利要求1所述的一种回收氯硅烷不凝尾气的装置，其特征在于：所述气气换热器（2）为列管式换热器。
3.如权利要求1所述的一种回收氯硅烷不凝尾气的装置，其特征在于：所述尾气吸收塔（4）为两段式填料塔，其中填料为鲍尔环的散堆填料。
4.如权利要求1所述的一种回收氯硅烷不凝尾气的装置，其特征在于：所述回流液直冷器（7）为浮头式的U型管换热器，其介质为-45℃~-50℃的氟利昂。
5.如权利要求1所述的一种回收氯硅烷不凝尾气的装置，其特征在于：所述氯硅烷输送泵（5）为屏蔽泵。
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