[发明专利]金属掩膜板对位装置

说明书

技术领域

本发明属于OLED显示技术领域，具体涉及一种OLED金属掩膜板对位装置。

背景技术

在平板显示技术中，有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示器是 一种通过载流子注入和复合导致有机材料发光的显示器件。以其轻薄、主动发光、快响应 速度、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为是继液 晶显示器(LCD)之后的第三代显示技术。主动式OLED(ActiveMatrixOLED，AMOLED) 也称为有源矩阵OLED，AMOLED因通过在每个像素中集成薄膜晶体管(TFT)和电容器 并由电容器维持电压的方法进行驱动，因而可以实现大尺寸、高分辨率面板，是当前研究 的重点及未来显示技术的发展方向。随着近代显示技术的不断发展，从LCD到AMOLED， 屏幕技术涉及TFT、NOVA、IPS、ASV、AMOLED以及SuperAMOLED等等，这些技术 主要大都是针对显示器的分辨率、亮度、对比度、色域、相应速度、可视角、清晰度和能 耗等性能的不断改进。

AMOLED作为具有较强竞争力的产品，其分辨率也不断的刷新，这对OLED的研究及 生产过程中的真空蒸镀技术的要求也越来越高，其中实现掩膜板与基板的对位要求又是生 产过程中的难点与重点，目前现有的蒸镀设备由于对位系统平台平坦度、控制精度、MASK 平坦度及材料等因素影响，设备对位精度一般为±3～5um，并且在量产过程中的多次对位容 易导致对位不良，直接影响生产效率与良率水平。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有的OLED金属掩膜板对位装置对位精度不高的问题提出 了一种OLED金属掩膜板对位装置。

本发明的技术方案为：一种OLED金属掩膜板对位装置，包括暗箱，摄像装置、工控 机和蒸镀机主PC，所述暗箱内包括平台以及位于平台上的OLED基板和位置传感器，所述 OLED基板通过真空吸附固定在平台上；

所述摄像装置安装于真空装置内并且通过线路与工控机信号连接，所述摄像装置用于 获取OLED金属掩膜板的对位图像信息并将所述对位图像信息通过所述线路传递给工控 机；

所述工控机通过线路与蒸镀机主PC信号连接，用于工控机与蒸镀机主PC之间通信。

本发明的有益效果：本发明的掩膜板对位装置通过采用摄像装置采集OLED基板的对 位图像并将对位图像信息传递给工控机进行处理，所述处理信号及预先设置的精度信息实 现对OLED基板的二次定位，从而实现提高OLED金属掩膜板对位精度的目的。

附图说明

图1为本发明的对位装置的原理框图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的阐述。

本发明的一种OLED金属掩膜板对位装置如图1所示，包括暗箱1，摄像装置2工控 机3和蒸镀机主PC，所述暗箱1内包括平台11以及位于平台上的OLED基板12和位置传 感器13，所述OLED基板通过真空吸附固定在平台上；所述CCD摄像机安装于真空装置1 内并且通过线路与工控机信号连接，所述I2C总线用于获取OLED金属掩膜板的对位图像 信息并将所述对位图像信息通过所述线路传递给工控机；所述工控机通过线路与蒸镀机主 PC信号连接，用于工控机与蒸镀机主PC之间通信。

这里的OLED金属掩膜板对位装置还包括与工控机实现信号连接的显示器，用于显示 控制参数及状态等信息。

这里的工控机与蒸镀机主PC具体通过I2C总线实现信号连接。

这里的工控机包括图像采集卡、数据处理单元和输入输出接口。

这里的摄像装置2具体为高清CCD摄像机。

所述对位装置的工作原理是：当载有OLED被测件的基板到达测试区域后，位置传感 器因接收到基板就位的信息而产生触发电平信号使暗箱门关闭，图像采集卡接收到触发电 平信号后发出一个信号触发高精度CCD摄像机进行图形采集，此时位于暗箱内的环形LED 照明补光系统处于打开状态以辅助CCD摄像机获得更准确的对位图像。