[发明专利]一种探针和测试设备

说明书

技术领域

本发明涉及半导体电性测试技术领域，具体地，涉及一种探针和测试设备。

背景技术

在半导体电学性能测试和薄膜晶体管液晶显示器阵列基板(TFT LCD Array)的电学性能测试过程中经常需要用到探针装置来连接测试仪器的端子。

如图1所示，探针一般由针体1和信号线2组成。信号线2包括三部分：最外层金属屏蔽层23，中间绝缘层22，最内层金属芯即线芯21。针体1的一端与信号线2的最内层金属芯连接，针体1的另一端裸露在外，用于将信号线2的测试信号引入至测试位置。

金属屏蔽层23将整个的信号线2包裹来排除其他信号的干扰，金属芯也即线芯21通常为中空，主要是为了将针体1插到里面并固定。通常，中空的金属芯的内径等于针体1的直径。在探针将信号线2中的测试信号引入测试位置的过程中，通常需要将针体1的裸露在外的一端扎入测试位置，由此使得针体1在多次的扎入过程中很容易与金属芯之间产生摩擦，从而导致多次扎入后的针体1与金属芯之间的连接松动，使针体1在扎入测试位置时很容易出现扎不稳和跑针现象，进而导致测试信号引入不良和测试不准；同时，针体1扎不稳或跑针还会严重影响测试效率。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种探针和测试设备。该探针能使针体被夹持牢固，从而使针体在测试过程中不容易出现扎不稳或跑针现象，确保测试信号能正常引入，进而不仅确保了信号测试的准确性，而且还提高了信号测试的效率。

本发明提供一种用于电性测试的探针，包括针体和信号线，所述信号线包括线芯和包裹在所述线芯外围的绝缘层，所述针体的第一端与所述线芯连接，所述针体的第二端裸露在外用于测试，还包括夹持结构，用于夹持所述针体。

优选地，所述线芯为包裹在所述绝缘层内部的能导电的空心筒，所述空心筒的内径等于所述针体的直径；

所述夹持结构包括锥台，所述锥台沿其轴线开设有第一通孔，所述针体的第一端穿过所述第一通孔插入至所述空心筒中，所述针体的第二端裸露于所述锥台外并靠近所述锥台的面积较大的下底面；所述第一通孔的直径小于等于所述针体的直径；

所述锥台沿其轴线的延伸方向在一侧开设有贯穿其高度的缺口，所述缺口与所述第一通孔贯通。

优选地，所述夹持结构还包括压环和弹簧，所述压环和所述弹簧均套设在所述锥台的侧面上，所述压环和所述弹簧的内径相等，且所述锥台的面积较小的上底面的直径＜所述压环和所述弹簧的内径＜所述锥台的面积较大的下底面的直径。

优选地，所述压环比所述弹簧更靠近所述锥台的下底面，所述弹簧在未受力状态下沿所述锥台的轴线方向的高度大于所述锥台的高度，所述弹簧的远离所述压环的一端与所述绝缘层的一端端面相接触。

优选地，还包括罩设在所述夹持结构外的外罩，所述外罩内部开设有第二通孔，所述针体的第二端穿过所述第二通孔裸露在所述外罩外；

所述第二通孔的靠近所述针体第一端的端部内壁设置有第一螺纹，所述绝缘层的与所述弹簧相接触的一端外侧面上设置有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹相适配。

优选地，所述信号线还包括金属屏蔽层，所述金属屏蔽层包裹在所述绝缘层外围，用于屏蔽外界干扰信号；

所述外罩在所述第二通孔的靠近所述针体第二端的端部设置有固定筒，所述针体的第二端穿过所述固定筒裸露在所述固定筒外，所述固定筒的直径等于所述针体的直径。

优选地，所述外罩和所述固定筒均采用绝缘材质，所述压环和所述弹簧采用金属材质。

优选地，所述锥台采用橡胶或塑料材质。

本发明还提供一种测试设备，包括上述探针。

本发明的有益效果：本发明所提供的探针，通过设置夹持结构，使针体能被夹持牢固，从而使针体在测试过程中不容易出现扎不稳或跑针现象，确保测试信号能正常引入，进而不仅确保了信号测试的准确性，而且还提高了信号测试的效率。同时，该夹持结构使针体调节起来也更加方便快捷。

本发明所提供的测试设备，通过采用上述探针，提高了该测试设备的测试效率和测试精确度。

附图说明

图1为现有技术中探针的结构剖视图；

图2为本发明实施例1中探针的结构剖视图；

图3为图2中锥台的结构示意图；

图4为图2中夹持结构的结构示意图；

图5为图2中外罩和固定筒的结构示意图。

其中的附图标记说明：