[发明专利]一种铜或铜合金化学抛光液及其制备方法在审
申请号: | 201410729915.6 | 申请日: | 2014-12-05 |
公开(公告)号: | CN104451692A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 沈国文;罗毅;吴华强;王李涛 | 申请(专利权)人: | 贵州振华群英电器有限公司 |
主分类号: | C23F3/06 | 分类号: | C23F3/06 |
代理公司: | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人: | 韩炜 |
地址: | 550018 贵*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铜合金 化学抛光 及其 制备 方法 | ||
1.一种铜或铜合金化学抛光液,其特征在于:包括92.5~98wt%的浓硫酸300~600ml/L,50~70wt%的硝酸15~60ml/L,苯丙三氮唑1~10g/L,十二烷基硫酸钠5~40g/L,OP乳化剂5~35ml/L,亚硝酸钠0.5~5g/L,余量为水。
2.如权利要求1所述一种铜或铜合金化学抛光液,其特征在于:包括92.5~98wt%的浓硫酸400~500ml/L,50~70wt%的硝酸25~50ml/L,苯丙三氮唑3~5g/L,十二烷基硫酸钠10~30g/L,OP乳化剂10~20ml/L,亚硝酸钠0.5~1.5g/L,余量为水。
3.如权利要求1或2所述一种铜或铜合金化学抛光液的制备方法,其特征在于:1升铜或铜合金化学抛光液,按下述步骤制得:
a.量取250~500ml的水,得A品;
b、在搅拌状态下向A品中缓慢加入硫酸92.5~98wt%的浓硫酸,待温度降到50~60℃,得B品;
c、在B品中缓慢加入50~70wt%的硝酸并不断进行搅拌,得C品;
d、将苯丙三氮唑在搅拌状态下加入C品,得D品;
e、将十二烷基硫酸钠在搅拌状态下加入D品,得E品;
f、将OP乳化剂在搅拌状态下加入E品,得F品;
g、将亚硝酸钠在搅拌状态下加入F品,得G品;
h、往G品中缓慢添加水配成1升溶液,即得所述的抛光液。
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