[发明专利]一种铜或铜合金化学抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 201410729915.6 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN104451692A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 沈国文;罗毅;吴华强;王李涛 | 申请（专利权）人： | 贵州振华群英电器有限公司 |
| 主分类号： | C23F3/06 | 分类号： | C23F3/06 |
| 代理公司： | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人： | 韩炜 |
| 地址： | 550018 贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铜合金 化学抛光 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种铜或铜合金化学抛光液，其特征在于：包括92.5～98wt%的浓硫酸300～600ml/L，50～70wt%的硝酸15～60ml/L，苯丙三氮唑1～10g/L，十二烷基硫酸钠5～40g/L，OP乳化剂5～35ml/L，亚硝酸钠0.5～5g/L，余量为水。
2.如权利要求1所述一种铜或铜合金化学抛光液，其特征在于：包括92.5～98wt%的浓硫酸400～500ml/L，50～70wt%的硝酸25～50ml/L，苯丙三氮唑3～5g/L，十二烷基硫酸钠10～30g/L，OP乳化剂10～20ml/L，亚硝酸钠0.5～1.5g/L，余量为水。
3.如权利要求1或2所述一种铜或铜合金化学抛光液的制备方法，其特征在于：1升铜或铜合金化学抛光液，按下述步骤制得：
a.量取250～500ml的水，得A品；
b、在搅拌状态下向A品中缓慢加入硫酸92.5～98wt%的浓硫酸，待温度降到50～60℃，得B品；
c、在B品中缓慢加入50～70wt%的硝酸并不断进行搅拌，得C品；
d、将苯丙三氮唑在搅拌状态下加入C品，得D品；
e、将十二烷基硫酸钠在搅拌状态下加入D品，得E品；
f、将OP乳化剂在搅拌状态下加入E品，得F品；
g、将亚硝酸钠在搅拌状态下加入F品，得G品；
h、往G品中缓慢添加水配成1升溶液，即得所述的抛光液。
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