[发明专利]配管接头、流体供给控制装置以及配管连接结构

说明书

技术领域

本发明涉及配管接头，以及使用该配管接头的流体供给控制装置和配管连接结构。

背景技术

作为这种配管接头和配管连接结构的构成，已知有例如下述专利文献1、专利文献2等中记载中的结构。

但是，具有在内部形成有流体的流路的流路块和安装在该流路块上的多个流体控制器件的流体供给控制装置例如作为半导体制造工序中的气体供给装置使用。具体地，例如，在下述专利文献3中公开的气体供给单元中，在内部形成有气体流路的流路块上，通过螺丝(螺栓)固定有多个流体控制器件(流体控制阀或流量控制器等)。此外，这些多个流体控制器件沿流路块的长度方向呈一列地配置。

用于半导体制造工序的上述气体供给装置有时被构成为供给多种气体。在此情况下，上述气体供给单元被设置成并列有多个(例如，参照下述专利文献4)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利申请公报“实开平7-4980”

专利文献2日本专利申请公报“专利2940292”

专利文献3日本专利申请公报“特开2001-227657”

专利文献4日本专利申请公报“特开2006-46494”

发明内容

发明所要解决的技术问题

例如，存在以下情况，即，将沿着与上述管部正交的方向(例如，水平)设置的配管与作为现有的凸缘接头的T型凸缘接头中的、从凸缘部垂直(即向上)延伸的管部连接。在上述配管连接结构的情况下，配管的前端部(以下，将其称为“弯曲部”)朝向凸缘接头大体呈L字形弯曲，上述弯曲部与上述管部连接。此时，通过使配管的主要部分(除上述的弯曲部以外的部分)与凸缘部的长度方向平行，能够使配管容纳在凸缘接头的宽度范围内。

但是，在上述结构中，用于将凸缘部安装(固定)在其他安装对象上的安装螺丝的安装方向也与上述管部平行。因此，在上述结构中，需要将用于(例如，从斜上方)插入安装螺丝或紧固用工具的空间设置在配管的上述主要部分的下方。因此，在上述结构中，需要确保上述弯曲部的长度比较长。即，在上述结构中，需要确保配管连接结构的高度方向的空间是大的空间。

而且，在沿着凸缘接头的宽度方向排列多个如上所述的配管连接结构时，即使确保如上所述的高度方向的空间是大的空间，将安装螺丝或紧固用工具插入排列方向上的端部以外的凸缘接头也变得极其困难。

通过以上示例，在如上所述的现有技术中，需要将装置结构良好地小型化或集成化。本发明是鉴于上述例示的情况作出的发明。

解决问题所采用的手段

本发明的第一结构，一种配管接头，被构成为能够通过螺丝被固定在预定的安装对象上，在内部具有流体通路，其特征在于，具有：

主体部，是被形成为具有预定的长度方向的大体长方体状的外形形状的部件，并具有接合面，所述接合面是被设置为将与所述长度方向正交的高度方向作为法线并与所述安装对象接合的平面；

第一开口部，被设置为在所述接合面开口；

第二开口部，被设置为在所述主体部的所述长度方向上的第一端面开口；以及

一对螺丝插入孔，形成为能够沿着所述高度方向插入所述螺丝，位于所述第一开口部两侧，并且设置在所述主体部的所述长度方向上的所述第一端面侧和所述第二端面侧，

从所述第一开口部穿过所述第二开口部的所述流体通路绕过所述螺丝插入孔。

本发明的第二结构，其特征在于，在所述第一结构中，

所述流体通路具有：

第一通路，是从所述第一开口部沿着所述高度方向设置的所述流体通路；以及

第二通路，是沿着长度方向设置的所述流体通路，穿过所述第二开口部并且与所述第一通路连接，并绕过所述螺丝插入孔，

所述第二通路具有：

开口侧通路，是从所述第二开口部沿着所述长度方向形成的非贯通孔，不到达一对所述螺纹插入孔之中设置在所述主体部中的所述第一端面侧的流路侧螺纹插入孔；以及

中间通路，沿着所述长度方向被形成为在比所述流路侧螺丝插入孔更靠近侧面的位置上，沿着所述长度方向不与所述流路侧螺丝插入孔连通而穿过所述流路侧流路插入孔的侧方，所述侧面是以与所述长度方向和所述高度方向正交的宽度方向作为法线的平面，

所述中间通路被设置为一端与所述第一通路连通并且另一端与所述开口侧通路中的所述流路侧螺丝插入孔侧的端部连通。

本发明的第三结构，其特征在于，在上述第一或第二结构中，