[发明专利]一种高效多晶黑硅电池

权利要求书

1.一种高效多晶黑硅电池，其特征在于:

(1)用浓度为50％的氢氟酸溶液50mL，浓度为60％的硝酸溶液23mL，以及浓度为30％的双氧水溶液15mL，使三者溶液混合均匀；

(2)用上述混合溶液对基片进行浸泡，浸泡时间为10-15s，去除表面机割损伤层；

(3)取浓度为45％的氢氧化钠溶液30mL清洗表面污染物，然后用去离子水对基片进行清洗，氮气吹干，最后进行等离子水浸没离子注入制备高效多晶黑硅电池。

2.根据权利要求1所述一种高效多晶黑硅电池，其特征在于：所述的试验样品为上用的p型多晶硅材料，电阻率为1-3Ω·cm，厚度为250微米，尺寸为15.5*15.6。

3.根据权利要求1所述一种高效多晶黑硅电池，其特征在于：所述的等离子浸没离子注入设备为中国科学院微电子研究所研制的等离子体浸没离子注入机。