[发明专利]真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统无效
申请号: | 201410730511.9 | 申请日: | 2014-12-05 |
公开(公告)号: | CN104404449A | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
发明(设计)人: | 王洪权;刘晓华;张朝奎 | 申请(专利权)人: | 大连维钛克科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116013 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 设备 空腔 快速 冷却系统 | ||
1.真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统,包括真空腔室、挡板阀A、冷却装置、挡板阀B、气体降温管道、罗茨泵、冷气充入管道及机械泵,其特征在于:所述真空腔室右侧连接挡板阀A,所述真空腔室通过挡板阀B连接冷却装置,所述冷却装置一端通过气体降温管道与罗茨泵相连,所述罗茨泵一端连接冷气冲入管道,所述冷气冲入管道通过挡板阀连接真空腔室,所述冷气冲入管道下方还安装有机械泵。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统,其特征在于:所述O型密封圈通过平垫与六角螺栓螺接在冷却腔室底部,所述冷却腔室外部设有密封板,所述高效内螺纹交叉齿铜盘管两端分别通过密封垫接有过渡接头,所述密封垫内部设有一圈密封套,所述密封垫上部设有卡合密封连接的密封帽,所述过度接头一端安装在密封板一侧外部,另一端接有水嘴。
3.根根据权利要求1所述的真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统,其特征在于:所述O型密封圈的直径为210mm,六角螺栓为直径为8mm的六角螺栓,所述水嘴为四分之一牙水嘴。
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