[发明专利]真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统

权利要求书

1.真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，包括真空腔室、挡板阀A、冷却装置、挡板阀B、气体降温管道、罗茨泵、冷气充入管道及机械泵,其特征在于：所述真空腔室右侧连接挡板阀A，所述真空腔室通过挡板阀B连接冷却装置，所述冷却装置一端通过气体降温管道与罗茨泵相连，所述罗茨泵一端连接冷气冲入管道，所述冷气冲入管道通过挡板阀连接真空腔室，所述冷气冲入管道下方还安装有机械泵。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，其特征在于：所述O型密封圈通过平垫与六角螺栓螺接在冷却腔室底部，所述冷却腔室外部设有密封板，所述高效内螺纹交叉齿铜盘管两端分别通过密封垫接有过渡接头，所述密封垫内部设有一圈密封套，所述密封垫上部设有卡合密封连接的密封帽，所述过度接头一端安装在密封板一侧外部，另一端接有水嘴。

3.根根据权利要求1所述的真空镀膜设备真空腔室快速冷却系统，其特征在于：所述O型密封圈的直径为210mm，六角螺栓为直径为8mm的六角螺栓，所述水嘴为四分之一牙水嘴。