[发明专利]三维原子探针制样第一阶段抛光设备有效
申请号: | 201410734587.9 | 申请日: | 2014-12-04 |
公开(公告)号: | CN104390835A | 公开(公告)日: | 2015-03-04 |
发明(设计)人: | 周琪;沙刚;李丽;张意栋 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01N1/32 | 分类号: | G01N1/32 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 朱显国 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 三维 原子 探针 第一阶段 抛光 设备 | ||
1.一种三维原子探针制样第一阶段抛光设备,其特征在于:包括底座(4)、支撑板(5)、衬板(8)、偏心轮(10)、第一杠杆(7)、第二杠杆(11)、连接杆(13)、固定板(1)、立柱(17)、电机(2)和插销(15),立柱(17)固定在底座(4)的一端,支撑板(5)固定在底座(4)的另一端,衬板(8)通过活动连接固定在支撑板(5)前方,沿支撑板(5)上下滑动,衬板(8)上设有一水平向长条形通孔(3),偏心轮(10)与电机(2)通过水平向长条形通孔(3)固连,偏心轮(10)下方设有第一杠杆(7),第一杠杆(7)与偏心轮(10)接触,第一杠杆(7)上方平行设有第二杠杆(11),第一杠杆(7)长度大于第二杠杆(11)长度,第一杠杆(7)和第二杠杆(11)一端通过连接杆(13)连接,第二杠杆(11)另一端转动连接在衬板(8)上,第一杠杆(7)另一端为自由端且超过衬板(8)边缘,第二杠杆(11)与衬板(8)转动连接处的正下方为第一杠杆(7)与衬板(8)的转动连接处,第一杠杆(7)和第二杠杆(11)与连接杆(13)为转动连接;电机(2)固连在固定板(1)上,固定板(1)固定在衬板(8)上;插销(15)沿水平方向插在连接杆(13)上,插销(15)分别平行于第一杠杆(7)和第二杠杆(11),且位于第一杠杆(7)和第二杠杆(11)之间。
2.根据权利要求1所述的三维原子探针制样第一阶段抛光设备,其特征在于:上述衬板(8)的水平向长条形通孔(3)下方设有竖直向长条形通孔(6),支撑板(5)与衬板(8)的竖直向长条形通孔(6)顶端对应的位置设有螺孔,衬板(8)沿支撑板(5)上下滑动到位后,通过螺钉与螺孔配合,将衬板(8)与支撑板(5)固定。
3.根据权利要求1所述的三维原子探针制样第一阶段抛光设备,其特征在于:上述偏心轮(10)中心通孔与电机(2)的电机轴过盈配合。
4.根据权利要求1所述的三维原子探针制样第一阶段抛光设备,其特征在于:上述水平向长条形通孔(3)位于支撑板(5)上方。
5.根据权利要求1所述的三维原子探针制样第一阶段抛光设备,其特征在于:上述支撑板(5)横截面为凹形,衬板(8)沿支撑板(5)的凹槽滑动。
6.根据权利要求1所述的三维原子探针制样第一阶段抛光设备,其特征在于:上述立柱(17)材料为不锈钢,顶端设有螺母。
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