[发明专利]一种紫外光谱可调谐光源

权利要求书

1.一种紫外光谱可调谐光源，包括依次串联的光源系统、准直系统、色散系统、光谱调制系统、投影系统和均匀混光系统；所述准直系统以及所述投影系统均由球面反射镜组成，所述色散系统由平面衍射光栅和一个球面反射镜组成，所述光谱调制系统包括变形镜，所述紫外光谱可调谐光源能够实现光谱范围从300nm到400nm光谱组成成分可调以及光斑亮度可调。

2.根据权利要求1所述的紫外光谱可调谐光源，其特征在于所述平面衍射光栅是平面刻画光栅，所述平面刻画光栅刻线密度范围为300线/mm到3600线/mm。

3.根据权利要求1或2所述的紫外光谱可调谐光源，其特征在于所述三个球面反射镜的参数均为：口径范围为10mm～500mm，反射镜曲率半径R1范围为30mm～1000mm。

4.根据权利要求1至3任一所述的紫外光谱可调谐光源，其特征在于所述三个球面反射镜的反射面反射膜均为高反膜。

5.根据权利要求1至3任一所述的紫外光谱可调谐光源，其特征在于所述平面衍射光栅固定在准直系统后方。

6.根据权利要求1至3任一所述的紫外光谱可调谐光源，其特征在于所述均匀混光系统采用全反射方式进行混光。

7.根据权利要求6所述的紫外光谱可调谐光源，所述均匀混光系统包括导光棒。