[发明专利]一种喷淋系统及其使用方法

权利要求书

1.一种喷淋系统，包括具有多个喷头的多个级联设置的喷淋构件，喷淋液供给系统，喷淋液回收系统，以及控制系统，其中所述控制系统用于在喷淋系统工作阶段控制所述喷淋液供给系统对被喷淋的基板提供喷淋液进行喷淋，以及在喷淋系统工作阶段结束后控制所述喷淋液回收系统对喷淋液进行回收，其特征在于，还包括：

清洗液供给系统，用于在清洗阶段在所述控制系统的控制下，对各所述喷淋构件的喷头提供清洗液进行清洗；

废液处理系统，用于在清洗阶段结束后在所述控制系统的控制下，对清洗后的废液进行排放。

2.如权利要求1所述的喷淋系统，其特征在于，所述清洗液供给系统包括：清洗液供给装置、清洗液循环池、连通所述清洗液供给装置和所述清洗液循环池之间的供液管路、连通所述清洗液循环池和末级喷淋构件的喷头之间的进液管路、一端位于首级喷淋构件下方另一端连接所述清洗液循环池的回液管路、动力构件、以及与所述喷淋液供给系统共用的喷淋液循环槽和喷淋液进液管路；其中，

所述清洗液供给装置用于：在清洗阶段通过所述供液管路输送清洗液到所述清洗液循环池；

所述清洗液循环池用于：在清洗阶段通过所述进液管路在动力构件的作用下输送清洗液到所述末级喷淋构件的喷头，以及接收清洗后的废液；

在清洗阶段，除首级喷淋构件之外的其他喷淋构件下方的喷淋液循环槽还用于：通过连通本级喷淋构件下方的喷淋液循环槽和上一级喷淋构件的喷头之间的喷淋液进液管路在动力构件的作用下输送清洗液到上一级喷淋构件的喷头；

所述回液管路用于：输送清洗后的废液到所述清洗液循环池。

3.如权利要求2所述的喷淋系统，其特征在于，所述清洗液供给系统还包括设置于所述清洗液循环池中的液位监测系统：用于监测所述清洗液循环池中清洗液的液位高度。

4.如权利要求2所述的喷淋系统，其特征在于，所述清洗液供给系统还包括：连通所述清洗液供给装置和所述末级喷淋构件的喷头之间的直通供液管路，以及连通所述清洗液供给装置和各所述喷淋液循环槽之间的分支供液管路；其中，

在清洗阶段，所述清洗液供给装置还用于：通过所述直通供液管路输送清洗液到所述末级喷淋构件的喷头；以及通过所述分支供液管路输送清洗液到各喷淋液循环槽。

5.如权利要求4所述的喷淋系统，其特征在于，所述废液处理系统包括：废液处理装置，以及连通所述清洗液循环池和所述废液处理装置之间的排液管路；其中，

所述排液管路用于：在清洗结束后，输送清洗后的废液到所述废液处理装置；

所述废液处理装置用于：对废液进行无害化处理。

6.如权利要求5所述的喷淋系统，其特征在于，所述废液处理系统还包括：一端位于首级喷淋构件下方另一端和所述废液处理装置相通的直通排液管路，以及连通各喷淋液循环槽和所述废液处理装置的分支排液管路；其中，

所述直通排液管路用于：在清洗阶段结束后，输送首级喷淋构件下方的废液到所述废液处理装置；

所述分支排液管路用于：在清洗阶段结束后，输送各喷淋液循环槽收集的废液到所述废液处理装置。

7.如权利要求6所述的喷淋系统，其特征在于，所述直通排液管路与所述喷淋液回收系统中喷淋液排液管路共用部分管路；和/或

所述分支排液管路与所述喷淋液回收系统中喷淋液分支排液管路共用部分管路；和/或

所述回液管路与所述喷淋液回收系统中喷淋液排液管路共用部分管路；和/或

所述进液管路与所述喷淋液供给系统中喷淋液供液管路共用部分管路；和/或

所述直通供液管路与所述喷淋液供给系统中喷淋液供液管路共用部分管路；和/或

所述分支供液管路与所述喷淋液供给系统中喷淋液分支供液管路共用部分管路。

8.如权利要求7所述的喷淋系统，其特征在于，在所述回液管路、所述供液管路、所述排液管路、所述进液管路、所述直通供液管路、所述分支供液管路、所述直通排液管路、所述分支排液管路、所述喷淋液进液管路、所述喷淋液排液管路、所述喷淋液分支排液管路、所述喷淋液供液管路以及所述喷淋液分支供液管路上分别设置有控制阀。

9.一种如权利要求1-8任一项所述喷淋系统的使用方法，其特征在于，包括：

在清洗阶段控制清洗液供给系统对各喷淋构件的喷头提供清洗液进行清洗；

在喷淋系统工作阶段控制喷淋液供给系统对被喷淋的基板提供喷淋液进行喷淋。