[发明专利]高纯高密度ITO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201410737689.6 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN105712703A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 钟小华;麻七克;朱刘;童培云 | 申请（专利权）人： | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 高密度 ito 制备 方法 | ||
1.一种高纯高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于，包括步骤：
将自制的ITO粉加纯水配制成浆料，之后加入分散剂，在砂磨机中砂磨，之后加入粘结剂和消泡剂进行球磨，再经喷雾造粒得到ITO造粒粉；
将得到的ITO造粒粉装入模具中预压成型得到ITO初坯；
将得到的ITO初坯在冷等静压机上成型得到ITO素坯；
将得到的ITO素坯在脱脂炉中脱脂，之后再在通氧气氛的烧结炉中烧结，即得到高纯高密度的ITO靶材。
2.根据权利要求1所述的高纯高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于，
自制的ITO粉的纯度≥99.995％，比表面积为8m2/g～30m2/g，浆料的固含量为10％～50％。
3.根据权利要求1所述的高纯高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于，分散剂选自六偏磷酸钠、聚丙烯酸铵以及聚丙烯酸钠中的一种或几种；
粘结剂选自聚乙烯醇(PVA)以及聚乙二醇(PEG)中的一种或几种；
消泡剂选自DF-8868A、DF-879以及DF-805中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的高纯高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于，砂磨时间为1h～24h。
5.根据权利要求1所述的高纯高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于，球磨时间为0.5h～6h。
6.根据权利要求1所述的高纯高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于，ITO造粒粉的平均粒度为30μm～100μm。
7.根据权利要求1所述的高纯高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于，预压成型的压力为40MPa～80MPa；
冷等静压的压力为100MPa～300MPa。
8.根据权利要求1所述的高纯高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于，脱脂温度为400℃～800℃，脱脂时间为3h～36h。
9.根据权利要求1所述的高纯高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于，烧结炉的烧结温度为1300℃～1650℃，烧结时间为5h～14h。
10.根据权利要求1所述的高纯高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于，ITO靶材的纯度≥99.995％，相对密度≥99％。
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