[发明专利]闭合回路电解液分析器

权利要求书

1.一种处理系统，包括：

电解液贮槽；

至少一个处理腔室，所述至少一个处理腔室通过处理腔室流体管线连接到所述电解液贮槽；

电解液分析器，所述电解液分析器包括：探测器，所述探测器至少部分地在所述电解液贮槽内；泵；阀，所述阀可转换到第一位置和第二位置；以及探测器流体管线，所述探测器流体管线将所述探测器至少间接地连接到所述泵和所述阀，其中所述泵、所述阀、所述探测器和所述探测器流体管线形成流体回路，当所述阀在所述第一位置时所述流体回路是闭合的流体回路，当所述阀在所述第二位置时所述流体回路是开放的流体回路。

2.如权利要求1所述的处理系统，进一步包括在所述流体回路中的储存器。

3.如权利要求2所述的处理系统，其中所述储存器和所述探测器两者实质上完全在所述电解液贮槽内。

4.如权利要求1所述的处理系统，其中所述贮槽内的所述探测器流体管线的长度大于不在所述贮槽内的所述探测器流体管线的长度。

5.如权利要求2所述的处理系统，其中所述探测器、所述储存器、所述泵和所述阀被支撑在所述贮槽的顶表面上的板上。

6.一种处理系统，包括：

电解液贮槽；

至少一个处理腔室，所述至少一个处理腔室通过流体管线连接到所述电解液贮槽；

电解液分析器，所述电解液分析器包括流体回路，所述流体回路具有泵、储存器、供给阀、循环阀和至少部分地在所述电解液贮槽内的探测器，其中所述循环阀能转换到第一位置和第二位置，当所述循环阀在第一位置时所述流体回路是闭合回路以允许电解液不断地循环通过所述探测器，当所述循环阀在第二位置时所述流体回路是开放回路以允许将已用过的电解液泵送出所述流体回路；并且

其中所述供给阀能转换到第一位置和第二位置，当所述供给阀在第一位置时所述流体回路是开放回路以供给新的电解液到所述流体回路中，当所述供给阀在第二位置时所述供给阀关闭以防止任何电解液流经所述供给阀。

7.如权利要求6所述的处理系统，其中所述供给阀能转换到第三位置，当所述供给阀在第三位置时所述供给阀上的对照样本端口连接到所述泵的入口。

8.如权利要求6所述的处理系统，其中所述泵是变容泵。

9.如权利要求6所述的处理系统，其中所述处理腔室具有与阳极电解液腔室分隔的阴极电解液腔室，并且其中所述流体管线将所述贮槽连接到所述阴极电解液腔室。

10.如权利要求6所述的处理系统，进一步包括连接到加热或冷却液体源的在所述贮槽中的加热/冷却螺管。

11.如权利要求6所述的处理系统，其中所述流体回路具有200mL到500mL的体积。

12.一种电解液分析器，包括：

伏安法探测器、变容泵、储存器、供给阀和循环阀；

所述循环阀具有连接到所述储存器的出口的入口、连接到排放管线的排放口以及连接到所述泵的入口的循环口，其中所述循环阀能从第一位置转换到第二位置，当所述循环阀在第一位置时所述循环阀的入口连接到所述循环口，当所述循环阀在第二位置时所述循环阀的入口连接到所述排放口；

所述探测器具有连接到所述储存器的入口的出口以及连接到所述泵的出口的入口；

所述供给阀具有第一入口、第二入口以及连接到所述泵的入口的出口，其中所述供给阀能从第一位置转换到第二位置，当所述供给阀在第一位置时所述第一入口连接到所述供给阀的出口，当所述供给阀在第二位置时所述第二入口连接到所述供给阀的出口。

13.如权利要求12所述的电解液分析器，其中所述储存器和所述探测器从支撑托架的底表面向下延伸，并且其中所述泵、所述循环阀和所述供给阀安装在所述支撑托架的顶表面上。