[发明专利]基于滤波反馈锁相的微波源系统及其微波诊断系统

权利要求书

1.基于滤波反馈锁相的微波源系统，其特征在于：包括用于产生微波信号的滤波反馈回路，所述滤波反馈回路包括带通滤波器(2)、第一微波功率放大器(4)和定向耦合器(5)，所述带通滤波器(2)的输出端与所述第一微波功率放大器(4)的输入端连接，所述第一微波功率放大器(4)的输出端与所述定向耦合器(5)的输入端连接，所述定向耦合器(5)的耦合输出端与所述带通滤波器(2)的输入端连接，所述定向耦合器(5)的输出端用于微波输出；

所述滤波反馈回路还包括微波谐振腔(1)，所述微波谐振腔(1)连接在所述定向耦合器(5)的耦合输出端与所述带通滤波器(2)的输入端之间。

2.如权利要求1所述基于滤波反馈锁相的微波源系统，其特征在于：所述滤波反馈回路还包括用于防止寄生反射的隔离器(6)，所述隔离器(6)设置在所述定向耦合器(5)的耦合输出端和所述微波谐振腔(1)的输入端之间。

3.如权利要求2所述基于滤波反馈锁相的微波源系统，其特征在于：所述滤波反馈回路还包括可调移相器(3)，所述可调移相器(3)连接在所述带通滤波器(2)的输出端与所述第一微波功率放大器(4)的输入端之间。

4.如权利要求1至3中任一项所述基于滤波反馈锁相的微波源系统，其特征在于：所述基于滤波反馈锁相的微波源系统包括不同频率的带通滤波器阵列和用于从所述带通滤波器阵列中选择不同工作频率的带通滤波器作为所述带通滤波器(2)的档位选择开关(19)。

5.如权利要求4所述基于滤波反馈锁相的微波源系统，其特征在于：所述基于滤波反馈锁相的微波源系统还包括功率输出系统，所述功率输出系统包括天线(11)和第二微波功率放大器(7)，所述天线(11)与所述定向耦合器(5)的输出端连接，所述第二微波功率放大器(7)设置在所述天线(11)与所述定向耦合器(5)的输出端之间。

6.如权利要求5所述基于滤波反馈锁相的微波源系统，其特征在于：所述功率输出系统还包括宽带微波隔离器(10)，所述宽带微波隔离器(10)设置在所述天线(11)与所述第二微波功率放大器(7)之间。

7.如权利要求6所述基于滤波反馈锁相的微波源系统，其特征在于：所述功率输出系统还包括监测耦合器(8)和微波监控系统(9)，所述监测耦合器(8)设置在所述第二微波功率放大器(7)和所述宽带微波隔离器(10)之间，所述监测耦合器(8)的耦合端耦合一路给所述微波监控系统(9)。

8.包括权利要求1至7中任一项所述基于滤波反馈锁相的微波源系统的等离子体微波诊断系统，其特征在于：所述等离子体微波诊断系统还包括微波接收系统，所述微波接收系统接收所述基于滤波反馈锁相的微波源系统发射并通过待测介质的微波，实现微波诊断功能。

9.如权利要求8所述基于滤波反馈锁相的微波源系统的等离子体微波诊断系统，其特征在于：在所述微波谐振腔(1)上开有远小于所述微波谐振腔(1)的尺寸的通孔(13)。