[发明专利]薄膜式小行程压力发生器

权利要求书

1.一种薄膜式小行程压力发生器，其特征在于：包括两个相互平行的刚性平板一、刚性平板二、柔性材料制成的薄膜，刚性平板一、刚性平板二相向的两面分别为A`面、B`面，两刚性平板可作垂直于A`面的相对运动；

A`面、B`面分为三个区域：与薄膜或液体始终接触的区域Ⅰ；与薄膜或液体始终不接触的区域Ⅱ；其它为区域Ⅲ；区域Ⅰ和区域Ⅱ不连通，薄膜仅在区域Ⅰ与刚性平板密封连接，连接的方法是粘接、法兰压紧连接，即薄膜与设有通道的刚性平板，在非通道区域，薄膜与刚性平板粘接；薄膜或通过螺钉、法兰压紧，使薄膜单独或与刚性平板共同形成密闭空间，两刚性平板和薄膜形成了一个密闭的空间，经一通道进出这一密闭空间，使密闭空间的液体体积和压强变化，产生压力。

2.如权利要求1所述的薄膜式小行程压力发生器，其特征在于：密闭空间通过通道、管道连通流体泵，流体泵通过开关阀和管道，向密闭空间注入流体，开关阀将密闭空间的流体排出。

3.如权利要求1或2所述的薄膜式小行程压力发生器，其特征在于：薄膜与未设置通道的刚性平板的粘接面积为小于密闭空间的最大截面面积。

4.如权利要求3所述的薄膜式小行程压力发生器，其特征在于：区域Ⅱ的截面为半圆或半椭圆。