[发明专利]一种利用多孔硅制备高α相氮化硅的方法有效

专利信息
申请号: 201410750725.2 申请日: 2014-12-09
公开(公告)号: CN104495765B 公开(公告)日: 2016-11-30
发明(设计)人: 张亚光;杜宁;张辉;杨德仁 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: C01B21/068 分类号: C01B21/068
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 胡红娟
地址: 310027 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 利用 多孔 制备 氮化 方法
【权利要求书】:

1.一种利用多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,步骤如下:

以多孔硅为原料,在氮气气氛下,依次经高温煅烧、研磨处理,得到所述的高α相氮化硅。

2.根据权利要求1所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述多孔硅的粒径为1~20μm,孔隙为30~500nm,比表面积大于100m2/g。

3.根据权利要求2所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述的多孔硅的粒径为1~10μm,比表面积大于100m2/g,多孔硅孔隙为50~200nm。

4.根据权利要求3所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述的多孔硅的粒径为7.5~10μm,比表面积大于100m2/g,多孔硅孔隙为100~200nm。

5.根据权利要求1所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述高温煅烧的温度为1250~1350℃,保温时间为15~30h。

6.根据权利要求1所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述的研磨在行星式球磨机中进行。

7.根据权利要求6所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述行星式球磨机的磨球采用热压烧结的氮化硅陶瓷球,磨球直径为1~10mm,球料比为2~10,球磨介质为无水乙醇,球磨时间为2~10h。

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