[发明专利]一种利用多孔硅制备高α相氮化硅的方法有效
申请号: | 201410750725.2 | 申请日: | 2014-12-09 |
公开(公告)号: | CN104495765B | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 张亚光;杜宁;张辉;杨德仁 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | C01B21/068 | 分类号: | C01B21/068 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 胡红娟 |
地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 多孔 制备 氮化 方法 | ||
1.一种利用多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,步骤如下:
以多孔硅为原料,在氮气气氛下,依次经高温煅烧、研磨处理,得到所述的高α相氮化硅。
2.根据权利要求1所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述多孔硅的粒径为1~20μm,孔隙为30~500nm,比表面积大于100m2/g。
3.根据权利要求2所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述的多孔硅的粒径为1~10μm,比表面积大于100m2/g,多孔硅孔隙为50~200nm。
4.根据权利要求3所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述的多孔硅的粒径为7.5~10μm,比表面积大于100m2/g,多孔硅孔隙为100~200nm。
5.根据权利要求1所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述高温煅烧的温度为1250~1350℃,保温时间为15~30h。
6.根据权利要求1所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述的研磨在行星式球磨机中进行。
7.根据权利要求6所述的多孔硅制备高α相氮化硅的方法,其特征在于,所述行星式球磨机的磨球采用热压烧结的氮化硅陶瓷球,磨球直径为1~10mm,球料比为2~10,球磨介质为无水乙醇,球磨时间为2~10h。
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