[发明专利]空间行波管用圆形法兰盒型窗及其制造方法

权利要求书

1.一种空间行波管用圆形法兰盒型窗，其特征在于，包括：

窗上法兰、窗下法兰和蓝宝石窗片；其中，蓝宝石窗片设置在窗上法兰和窗下法兰之间，窗上法兰和窗下法兰的中心均开有直径相同的中心孔，且两个中心孔同轴。

2.如权利要求1所述的空间行波管用圆形法兰盒型窗，其特征在于，所述窗上法兰和窗下法兰在上下对应的位置分别设置有定位孔，且上下对应的定位孔同轴。

3.如权利要求1或2所述的空间行波管用圆形法兰盒型窗，其特征在于，所述空间行波管用圆形法兰盒型窗的反射电压驻波比ρ≤1.1。

4.如权利要求3所述的空间行波管用圆形法兰盒型窗，其特征在于，所述空间行波管用圆形法兰盒型窗的真空度大于1×10^-9Pa。

5.一种空间行波管用圆形法兰盒型窗的制造方法，其特征在于，包括：

根据设计的窗上法兰、窗下法兰的尺寸，确定盒型窗装配模具、测试模具以及定位销钉的具体尺寸；

加工制造窗上法兰、窗下法兰；以及装配模具，测试模具和定位销；

将窗上法兰、窗下法兰、蓝宝石窗片分别装入上装配模具和下装配模具之间，通过定位销钉进行定位，并对上、下装配模具进行固定；安装测试模具，通过检测设备，测量盒型窗的反射电压驻波比ρ,要求ρ≤1.07；

装配完成的盒型窗，在窗上法兰和窗下法兰之间的配合处放置银铜焊料丝，然后放入氢炉，充入氮气进行焊接，温度780℃升至890℃，保温15秒；

对焊接完成的盒型窗进行真空度检测，要求真空度大于1×10^-9Pa；

将定位销钉去掉后，安装测试模具、匹配负载，对通过氢炉焊接完成后的盒型窗再次进行测量，剔除反射电压驻波比ρ>1.1的盒型窗。

6.如权利要求5所述的空间行波管用圆形法兰盒型窗的制造方法，其特征在于，在安装蓝宝石窗片之前，还包括：

将蓝宝石窗片3采用掩膜方式进行金属化处理，金属化厚度5um。

7.如权利要求5或6所述的空间行波管用圆形法兰盒型窗的制造方法，其特征在于，在将窗上法兰、窗下法兰分别装入、下装配模具之前，还包括：

用盐酸对窗上法兰、窗下法兰酸洗2-3分钟后烘干，850℃高温除气后镀镍10um。

8.如权利要求7所述的空间行波管用圆形法兰盒型窗的制造方法，其特征在于，在将窗上法兰、窗下法兰、蓝宝石窗片分别装入上、下装配模具之前，还包括：

利用超声波对加工完成的盒型窗装配模具、测试模具超声10-15分钟，然后烘干，放置氢炉中950℃烧氢去氧化层。