[发明专利]行波管收集极的装配装置及其收集极的装配方法

权利要求书

1.一种行波管收集极的装配装置，其特征在于，它包括：机架（1），安装在机架（1）上的真空泵（2）、电机（3）和电路控制系统，安装在机架（1）上表面的法兰（14），安装在法兰（14）上的高精度直线式滚珠型滑台（4），安装在机架（1）上表面环氧板上的高精度滚珠丝杆（5），所述的高精度直线式滚珠型滑台（4）上安装有高频感应线圈（6），所述的高精度滚珠丝杆（5）下端与电机（3）相连，高频感应线圈（6）与高频感应加热电源（7）相连，所述的高精度滚珠丝杆（5）上安装有气动三爪固定卡盘（8）；

所述的机架（1）上安装有液压升降机构（9），所述的液压升降机构（9）的上部上安装有钟罩（10），钟罩（10）上焊接有法兰，钟罩（10）上的法兰可与法兰（14）之间实现密封，将高精度直线式滚珠型滑台（4）和高精度滚珠丝杆（5）密封在钟罩（10）内；

所述的法兰（14）上连接有抽真空管道（11），抽真空管道（11）与真空泵（2）相连；

所述的法兰（14）上连接有充气管路，充气管路与气体罐相连。

2.根据权利要求1所述的行波管收集极的装配装置，其特征在于，所述的法兰（14）上安装有悬臂式实心轴磁流体密封传动装置。

3.根据权利要求1所述的行波管收集极的装配装置，其特征在于，抽真空管道（11）上安装有真空计。

4.根据权利要求1所述的行波管收集极的装配装置，其特征在于，所述的抽真空管道（11）上安装有电磁阀（12）和泄压阀（13）。

5.根据权利要求1所述的行波管收集极的装配装置，其特征在于，所述的钟罩（10）上设有透明观察窗，且钟罩（10）内设置有隔热屏，所述的钟罩（10）上焊接有法兰，钟罩（10）上的法兰与法兰（14）之间采用耐高温氟橡胶O型圈实现密封装配。

6.根据权利要求1所述的行波管收集极的装配装置，其特征在于，所述的高精度直线式滚珠型滑台（4）包括滚珠丝杆支撑座（4-1）、安装在滚珠丝杆支撑座（4-1）上的可滑动平台（4-2）、安装在可滑动平台（4-2）内的滚珠丝杆（4-3）和滚珠丝杆（4-3）的直线式导轨，滚珠丝杆支撑座（4-1）两侧边上均安装有调节螺丝（4-4），通过旋转调节螺丝（4-4）可以推动滚珠丝杆（4-3）移动，从而带动滑动平台（4-2）移动，且可滑动平台（4-2）上安装有止动螺丝（4-5）。

7.根据权利要求1所述的行波管收集极的装配装置，其特征在于，所述的充气管路上安装有截止阀和充气阀。

8.根据权利要求1所述的行波管收集极的装配装置，其特征在于，所述的充气管路上安装有压力表。