[发明专利]一种基于抗磁悬浮机理的气体微流量计

权利要求书

1.一种基于抗磁悬浮机理的气体微流量计，其特征在于：包括外壳(1)，在外壳内部设有抗磁悬浮部分、外壳上端设有盖板(2)，所述盖板上设有检测装置；所述抗磁悬浮部分包括永久磁铁组件和高定向热解石墨转子(3)，高定向热解石墨转子悬浮于永久磁铁组件正上方，永久磁铁组件由钕铁硼或钐钴永磁体构成，所述永久磁铁组件包括一个内磁铁(4)和一个外环磁铁(5)，所述外环磁铁套设在内磁铁外周，外环磁铁和内磁铁的磁化方向均沿其轴向且外环磁铁和内磁铁的磁化方向相反，所述高定向热解石墨转子的外径大于外环磁铁的内径、小于外环磁铁的外径；所述检测装置包括传感器(6)和处理模块(7)，所述传感器设于高定向热解石墨转子正上方，传感器将信号输送至处理模块，所述外壳呈圆柱筒形，在外壳的侧壁上设有气体引入口(8)和气体排出口(9)，所述气体引入口和气体排出口之间通过连接管相连，气体引入口与高定向热解石墨转子设置在同一水平面上。

2.根据权利要求1所述的基于抗磁悬浮机理的气体微流量计，其特征在于：所述高定向热解石墨转子呈圆盘形或齿轮形，其外圆周均匀设有至少三个齿轮，所述齿轮的外径为2mm、厚度为0.6mm。

3.根据权利要求1所述的基于抗磁悬浮机理的气体微流量计，其特征在于：所述传感器为激光位移传感器，激光位移传感器与处理模块相连接并将信号输送至处理模块，所述处理模块上设有用于显示信号的显示屏。

4.根据权利要求1所述的基于抗磁悬浮机理的气体微流量计，其特征在于：所述内磁铁为圆环形磁铁或者圆柱形磁铁，所述圆柱形磁铁的直径为1.5875mm、高度为1.5875mm。

5.根据权利要求1所述的基于抗磁悬浮机理的气体微流量计，其特征在于：所述外环磁铁的外径为3.175mm、内径为1.5875mm、高度为1.5875mm。

6.根据权利要求5所述的基于抗磁悬浮机理的气体微流量计，其特征在于：在所述永久磁铁组件底部设有导磁板(10)。

7.根据权利要求6所述的基于抗磁悬浮机理的气体微流量计，其特征在于：所述导磁板底部设有底部环形磁铁，所述底部环形磁铁的外径大于外环磁铁的外径，底部环形磁铁沿轴向磁化，且其磁化方向与内磁铁的磁化方向相反。