[发明专利]铜核球PoP互连的封装结构和封装方法在审
申请号: | 201410756179.3 | 申请日: | 2014-12-10 |
公开(公告)号: | CN104465609A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 陈南南;王宏杰 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01L21/768;H01L21/60 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷红梅;刘海 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铜核球 pop 互连 封装 结构 方法 | ||
1.一种铜核球PoP互连的封装结构,包括位于上层的第一封装单元(1)和一个或多个第二封装单元(1a),第一封装单元(1)和第二封装单元(1a)依次堆叠,第一封装单元(1)和第二封装单元(1a)之间、以及相邻的第二封装单元(1a)之间均通过焊球(2)连接;其特征是:所述焊球(2)包括铜核球(21)和铜核球(21)表面镀覆的镀层钎料(22)。
2.如权利要求1所述的铜核球PoP互连的封装结构,其特征是:所述铜核球(21)为中心对称结构或者为轴对称球结构。
3.如权利要求2所述的铜核球PoP互连的封装结构,其特征是:所述铜核球(21)为球形、圆柱形、矩形柱形或椭球形。
4.如权利要求1所述的铜核球PoP互连的封装结构,其特征是:所述第一封装单元(1)为扇出型晶圆级封装结构。
5.如权利要求1所述的铜核球PoP互连的封装结构,其特征是:所述第二封装单元(1a)采用倒装芯片封装结构或引线键合封装结构。
6.如权利要求1所述的铜核球PoP互连的封装结构,其特征是:所述第二封装单元(1a)与上层的第二封装单元(1a)或第一封装单元(1)的焊球(2)连接。
7.一种铜核球PoP互连的封装方法,其特征是,采用以下方法:将第一封装单元(1)和一个或多个第二封装单元(1a)进行堆叠、回流,第二封装单元(1a)与上层的第二封装单元(1a)或第一封装单元(1)的焊球(2)连接,形成铜核球PoP互连的封装结构;所述焊球(2)包括铜核球(21)和铜核球(21)表面镀覆的镀层钎料(22)。
8.如权利要求7所述的铜核球PoP互连的封装方法,其特征是:所述第一封装单元(1)为扇出型晶圆级封装结构。
9.如权利要求7所述的铜核球PoP互连的封装方法,其特征是:所述第二封装单元(1a)采用倒装芯片封装结构或引线键合封装结构。
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