[发明专利]100KW高频感应发生器

权利要求书

1.一种100KW高频感应发生器，其特征在于，包括：

圆柱形管体，其具有进气端和出气端，所述进气端用以让工作气体通过并进入至所述圆柱形管体的内部；以及

高频感应线圈，其环设在所述圆柱形管体的外部，用于在所述圆柱形管体内部形成一频率为200kHz-2000kHz的高频电磁场，以使工作气体被电离形成等离子体。

2.如权利要求1所述的100KW高频感应发生器，其特征在于，所述高频感应线圈设置在所述圆柱形管体的中间位置。

3.如权利要求1所述的100KW高频感应发生器，其特征在于，还包括：

气体导入部，其包括第一送气通道和环形槽，其中，所述环形槽环设在所述第一送气通道的周围；所述进气端插入并固定至所述环形槽内；所述第一送气通道与所述进气端连通，用以向所述进气端提供工作气体。

4.如权利要求3所述的100KW高频感应发生器，其特征在于，所述气体导入部包括内筒体和外筒体，其中，所述内筒体的内部空腔为所述第一送气管道，所述外筒体套设在所述内筒体的外侧，所述外筒体的一端与所述内筒体的一端固定连接，并且所述外筒体与所述内筒体限定出所述环形槽。

5.如权利要求4所述的100KW高频感应发生器，其特征在于，还包括：

喷管，所述出气端插入并固定至所述喷管中。

6.如权利要求1至5中任一项所述的100KW高频感应发生器，其特征在于，所述气体导入部设置有第二送气通道，所述第二送气通道用以向所述圆柱形管体内部提供沿所述圆柱形管体的内壁切向旋转进入的冷却气体。

7.如权利要求6所述的100KW高频感应发生器，其特征在于，所述第二送气通道贯穿所述外筒体的侧壁以及所述内筒体的侧壁，并连通至所述圆柱形管体的内部。