[发明专利]微机电装置

权利要求书

1.一种微机电装置，其特征在于，包含：

一基板；

一质量块，具有不同的感测方向的一第一活动电极与一第二活动电极，该质量块的内部具有一中空部分；

一弹簧、一弹簧锚点、一第一电极锚点与一第二电极锚点，位于该中空部分内，该质量块通过该弹簧与该弹簧锚点连接于该基板；以及

一第一固定电极与一第二固定电极，分别通过该第一电极锚点与该第二电极锚点与该基板相连，该第一固定电极与该第一活动电极形成一第一电容，该第二固定电极与该第二活动电极形成一第二电容，该第一电容与该第二电容用以感测该质量块的一运动状态；

其中，且在该弹簧与弹簧锚点之间不包含该质量块或是任何固定电极的一部分。

2.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该第一活动电极与该第二活动电极位于该弹簧锚点的同一侧，且该第一活动电极与该第二活动电极彼此不直接相连。

3.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该第一活动电极与该第二活动电极位于该弹簧锚点的两侧，且该第一活动电极与该第二活动电极彼此不直接相连。

4.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该第一电容与该第二电容为差分电容。

5.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该质量块又包含一第三活动电极，该第三活动电极具有与该第一活动电极以及该第二活动电极的相互垂直的另一感测方向，且该微机电装置又包含一第三固定电极，该第三固定电极与该第三活动电极形成一第三电容。

6.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该运动状态具有一偏心运动。

7.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该弹簧锚点位于该弹簧的中间，该弹簧包含至少两区段，各区段的一端连接于该弹簧锚点、另一端与该质量块相连接，由此，该弹簧使该质量块可相对于该弹簧锚点进行入平面与出平面的旋转。

8.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该中空部分内具有单一中间锚点区，该第一电极锚点、该第二电极锚点与该弹簧锚点皆位于此中间锚点区内，此中间锚点区的面积占质量块外围所定义的面积的5％以下。

9.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该第一电极锚点连接于该第一固定电极最靠近该弹簧锚点的部分、及/或该第二电极锚点连接于该第二固定电极最靠近该弹簧锚点的部分。

10.如权利要求1所述的微机电装置，其中，该质量块位于弹簧锚点两侧的质量分布不均。