[发明专利]有机EL组件及其制造方法在审
申请号: | 201410767732.3 | 申请日: | 2014-12-11 |
公开(公告)号: | CN104716269A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 末木英人;里吉务 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 el 组件 及其 制造 方法 | ||
1.一种有机EL组件,其特征在于,包括:
在内部具有成为发光部的有机层的有机EL面板;
设置在所述有机EL面板的背面上、将所述有机EL面板的背面密封的背面密封板;
设置在所述有机EL面板的侧面、将所述有机EL面板的侧面的密封侧面密封部件;
设置在所述有机EL面板的正面上、将所述有机EL面板的正面密封的正面密封板;和
覆盖所述背面密封板和/或所述正面密封板的外表面以及所述侧面密封部件的外表面的、透明的保护覆膜。
2.如权利要求1所述的有机EL组件,其特征在于:
所述背面密封板和所述正面密封板中的至少一个为透明树脂薄膜时,所述保护覆膜覆盖由所述透明树脂薄膜构成的所述背面密封板和/或所述正面密封板的外表面以及所述侧面密封部件的外表面。
3.如权利要求1或2所述的有机EL组件,其特征在于:
所述保护覆膜为金属氧化物膜。
4.如权利要求3所述的有机EL组件,其特征在于:
所述金属氧化物膜为氧化铝膜。
5.一种有机EL组件的制造方法,其特征在于,包括:
用背面密封板、侧面密封部件和正面密封板将在内部具有成为发光部的有机层的有机EL面板的背面、侧面和正面的各个密封的工序;和
用透明的保护覆膜覆盖所述背面密封板和/或所述正面密封板的外表面以及所述侧面密封部件的外表面的工序。
6.如权利要求5所述的有机EL组件的制造方法,其特征在于:
所述背面密封板和所述正面密封板中的至少一个为透明树脂薄膜时,覆盖所述保护覆膜的工序为覆盖由所述透明树脂薄膜构成的所述背面密封板和/或所述正面密封板的外表面以及所述侧面密封部件的外表面的工序。
7.如权利要求5或6所述的有机EL组件的制造方法,其特征在于:
所述保护覆膜为金属氧化物膜时,所述金属氧化物膜通过交替反复进行金属前体气体的供给和排气、氧化气体的供给和排气,形成在所述背面密封板和/或所述正面密封板的外表面上、以及所述侧面密封部件的外表面上。
8.如权利要求5~7中任一项所述的有机EL组件的制造方法,其特征在于:
所述保护覆膜经由以下工序形成:
将由所述背面密封板、所述侧面密封部件和所述正面密封板密封的所述有机EL面板收纳在实施所述保护覆膜的成膜处理的处理室中,并载置到配置在所述处理室内的载置台上的工序;
在载置于所述载置台上的所述被密封的有机EL面板上形成保护覆膜的工序;
在形成所述保护覆膜后,将所述被密封的有机EL面板翻转,再载置在所述载置台上的工序;和
在再载置在所述载置台上的所述被密封的有机EL面板上再次形成所述保护覆膜的工序。
9.如权利要求5~7中任一项所述的有机EL组件的制造方法,其特征在于:
所述保护覆膜经由以下工序形成:
将由所述背面密封板、所述侧面密封部件和所述正面密封板密封的所述有机EL面板收纳在实施所述保护覆膜的成膜处理的处理室中,由支承销支承于配置在所述处理室内的载置台上,以从所述载置台浮起的状态保持的工序;和
在以在所述载置台上浮起的状态保持的所述被密封的有机EL面板上形成保护覆膜的工序。
10.如权利要求9所述的有机EL组件的制造方法,其特征在于:
在形成所述保护覆膜后,使所述被密封的有机EL面板水平旋转,通过所述支承销以使支承位置与前一次的支承位置不同的方式支承在所述载置台上,以从所述载置台浮起的状态再保持的工序;和
在以在所述载置台上浮起的状态再保持的有机EL面板上再次形成所述保护覆膜的工序。
11.如权利要求5~7中任一项所述的有机EL组件的制造方法,其特征在于:
所述保护覆膜经由以下工序形成:
将由所述背面密封板、所述侧面密封部件和所述正面密封板密封的所述有机EL面板收纳在实施所述保护覆膜的成膜处理的处理室中,在配置于所述处理室内的载置台上通过支承销支承比所述侧面密封部件更靠外侧的部分,以从所述载置台浮起的状态保持的工序;和
在以在所述载置台上浮起的状态保持的所述被密封的有机EL面板上形成保护覆膜的工序。
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