[发明专利]一种芯片供送机构及粘片机有效
申请号: | 201410784573.8 | 申请日: | 2014-12-17 |
公开(公告)号: | CN105762099B | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 于丽娜 | 申请(专利权)人: | 北京中电科电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;黄灿 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 机构 粘片机 | ||
本发明提供一种芯片供送机构及粘片机,涉及机械制造领域,其中,该芯片供送机构包括:旋转装置,能够绕轴线作旋转运动;至少两个焊臂单元,绕所述旋转装置的轴线分布于所述旋转装置上;第一驱动装置,用于驱动旋转至拾片区的焊臂单元从所述拾片区拾取芯片,以及用于驱动旋转至放片区的焊臂单元放置芯片到所述放片区。本发明的芯片供送机构采用多焊臂,多工位的连续、分时粘结工作方式,来达到提高粘接速度、提高整体的粘接效率以及降低成本的目的。
技术领域
本发明涉及机械制造领域,特别是涉及一种芯片供送机构及粘片机。
背景技术
传统粘片机构(也可叫芯片供送机构),常见的有两种。一种是使用花键轴承带动拾放臂在θ向旋转、Z向往复进行拾放片,如附图1所示。电机驱动安装在偏心轴座1的偏心轴2上。偏心轴2轴端安装有轴承3。压盖4和芯片焊臂8固定在花键轴6上。花键轴6安装在轴承座7上进行Z向和θ向运动。该粘片机构需使用θ向、Z向都可运动的花键轴承,其精度要求高,目前只有极少数厂家能加工,价格很贵。且该粘片机构中,拾放力不可控、臂前端刚性低。在高速运转时,容易造成振动,导致粘片精度差、效率低。另外,该粘片机构只有一个焊臂,从拾片区(蓝膜15的上方)到放片区(框架16的上方) 行程较远,焊臂运动时间长。从放片区旋转到拾片区时,焊臂上没有芯片,该行程为空回。当拾片区和放片区的夹角θ为90°时,每粘接一个芯片,焊臂需要旋转180°。焊臂粘接效率低、粘接时间长。
另一种粘片机构,利用直线电机带动拾放臂在Y向、Z向运动进行拾放片如附图2所示。其拾放机构主要由分拆式直线电机、带真空吸嘴的焊臂组成。焊臂用于把芯片从拾片区移到粘接位置处。这种方式下,焊臂的运动轨迹均为直线运动,与旋转运动相比,不存在力放大效应,需要更大的电机力。另外,线性马达、线性编码器等部分全部加载在焊臂上,导致焊臂很重,加速度很难提高,严重影响粘片速度。与上一种粘片机构类似,直线电机型粘片机构仍然只有一个焊臂,焊臂从框架到芯片行程为空回,依然存在粘接时间长、粘接效率低的问题。
无论是花键轴承型还是直线电机型,均为单焊臂,只能单工位进行粘接。每次粘接过程中,焊臂行程很长。芯片从吸拾到粘接,周期较久。粘片速度慢、粘片效率低。
发明内容
本发明的目的是提供一种芯片供送机构及粘片机,能够解决传统芯片供送机构采用单焊臂的单工位进行粘接的方式,产生的焊臂行程长、芯片从拾取到粘接的周期较长、粘接效率低等问题。
为了解决上述技术问题,本发明的实施例提供一种芯片供送机构,其中,包括:
旋转装置,能够绕轴线作旋转运动;
至少两个焊臂单元,绕所述旋转装置的轴线分布于所述旋转装置上;
第一驱动装置,用于驱动旋转至拾片区的焊臂单元从所述拾片区拾取芯片,以及用于驱动旋转至放片区的焊臂单元放置芯片到所述放片区。
其中,所述芯片供送机构还包括:
第二驱动装置,与所述旋转装置连接,用于向所述旋转装置提供驱动力。
其中,所述旋转装置包括:
绕轴线作旋转运动的轴承;
套设于所述轴承上的轴套。
其中,所述焊臂单元设置于所述轴套上。
其中,所述焊臂单元与所述轴套通过弹性装置连接。
其中,所述第一驱动装置包括:
第一驱动单元,位于拾片区一预设位置处,用于驱动旋转至拾片区的焊臂单元从所述拾片区拾取芯片;
第二驱动单元,设置于放片区一预设位置处,用于驱动旋转至放片区的焊臂单元放置芯片到所述放片区。
其中,所述第一驱动单元包括:
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