[发明专利]具有渐变性复合涂层形式的亚吸收层及其制法

权利要求书

1.一种具有渐变性复合涂层形式的亚吸收层，其特征在于：由下往上依次包括一底层复合涂层、至少一渐变复合涂层以及一顶层复合涂层，所述底层复合涂层的化学成分为第一金属Me1，所述顶层复合涂层的化学成分为第二金属Me2，所述渐变复合涂层的化学成分包括第一金属Me1以及第二金属Me2。

2.如权利要求1所述一种具有渐变性复合涂层形式的亚吸收层，其特征在于：各所述渐变复合涂层中第一金属Me1的含量由下往上依次减少，各所述渐变复合涂层中第二金属Me2的含量由下往上依次递增。

3.如权利要求2所述一种具有渐变性复合涂层形式的亚吸收层，其特征在于：各所述渐变复合涂层中第一金属Me1的含量由下往上呈阶梯状减少，各所述渐变复合涂层中第二金属Me2的含量由下往上呈阶梯状递增。

4.如权利要求3所述一种具有渐变性复合涂层形式的亚吸收层，其特征在于：所述渐变复合涂层共设置四层，由下往上分别为第一渐变复合涂层、第二渐变复合涂层、第三渐变复合涂层以及第四渐变复合涂层，所述第一渐变复合涂层的化学成分包括80%的第一金属Me1以及20%第二金属Me2，所述第二渐变复合涂层的化学成分包括60%的第一金属Me1以及40%第二金属Me2，所述第三渐变复合涂层的化学成分包括40%的第一金属Me1以及60%第二金属Me2，所述第四渐变复合涂层的化学成分包括20%的第一金属Me1以及80%第二金属Me2。

5.一种如权利要求1-4中任一所述的亚吸收层的制备方法，其特征在于,包括以下步骤：a、根据所述第一金属Me1和第二金属Me的质量配比进行靶材配对后放置在同一个真空镀膜腔室内，b、通过磁控共同溅射工艺在上述真空镀膜腔室内进行逐层镀膜，先形成所述底层复合涂层，再根据化学成分配比的改变为阶梯状这一特性，逐层叠加从而完成各渐变复合涂层的制备，最后在渐变复合涂层顶面镀上一顶层复合涂层。

6.如权利要求5所述的亚吸收层的制备方法，其特征在于：在同一个镀膜腔室中配对放置的靶材为纯金属、合金、非金属、金属氧化物或金属氧化物的混合体。

7.如权利要求5所述的亚吸收层的制备方法，其特征在于：在同一个镀膜腔室中配对放置的靶材为Si or SiAl/Mo、 Si or SiAl/ Al、 Si or SiAl / NiCr、 Sn/Ti、 Sn/Al、Sn/Cr、 Sn/Mo、Sn/NiCr、 Ti/In、 ZnO:Al2O3 (AZO)/Al或ZnO:Ga2O3(GZO)/Al中的一种配对。

8.一种选择性太阳能热吸收涂层，其特征在于：包括一具有低红外发射率的高反射基底层、一覆盖于该高反射基底层上的主吸收性涂层以及堆叠于该主吸收性涂层的减反层，所述主吸收性涂层为如权利要求1-4中任一所述一种具有渐变性复合涂层形式的亚吸收层。

9.如权利要求9所述一种选择性太阳能热吸收涂层，其特征在于：所述减反层包括一作为次减反层的TCO透明导电氧化物涂层以及一作为主减反层的SiO2（SiOx）氧化物涂层，所述SiO2（SiOx）氧化物涂层覆盖于所述TCO透明导电氧化物涂层，该选择性太阳能热吸收涂层被镀制于金属带基材上，所述金属带基材为铝带、不锈钢带或铜带。

10.如权利要求9所述一种选择性太阳能热吸收涂层，其特征在于：所述高反射基底层采用大面积电子束蒸发镀膜工艺制备而成，这种镀膜工艺所使用的蒸发材料为铝、铜或者银，所述高反射基底层的下表面覆盖有一用于提高和改善选择性太阳能热吸收涂层的附着性和/或抗腐蚀性的薄膜涂层，所述薄膜涂层的成分为至少一种金属、至少一种金属氧化物、至少一种金属氮化物、至少一种金属氮氧化物或者以上金属、金属氧化物、金属氮化物和金属氮氧化物的任意组合，所述薄膜涂层采用DC磁控溅射工艺或者AC磁控溅射工艺镀制于所高反射基底层的下表面。