[发明专利]一种真空内局部加热方法

说明书

技术领域

本发明涉及在真空系统内部实现定点、局部的加热，用该加热装置可实现零件或者器件的在真空环境中的局部加热。被加热的零件或者器件的形状不受限制。

背景技术

电真空器件的研究工作中，常有局部加热的需要，如对零件或器件的进行局部加热进行热处理或脱气等使之正常工作。加热时通常需要精确监控温度且被研究物体要受热均匀。一般加热方式为管壁外加热和真空内辐射加热，前者在系统外部缠上加热带，通过管壁将温度辐射到系统内样品上，后者是在真空内部通过热辐射将温度传到需要加热的样品上，前者的加热效率低，热量不易传到系统内部；并且由于加热为整个腔体加热，管壁必不可少的会放出气体，这在很多场合下对分析会产生影响。而后者虽然在内部加热，但因为热辐射方向是四面八方、不固定的，管壁必然会受到辐射而温度升高，从而释放出气体产生干扰。本发明为真空内定点局部加热，避免了上述现象的发生。

专利内容

发明目的：本发明的目的是提供一种定点、局部的加热方法，该方法适合对真空进行局部热处理。

技术方案：为实现上述目的，本发明采用的方案为：一种真空内部局部加热方法，该方法包括如下步骤：提供需要在真空中进行加热的加热丝、绝缘陶瓷珠和紫铜管；将需要进行加热的加热丝、绝缘陶瓷珠和紫铜管表面进行清洁处理；加热丝上穿上绝缘陶瓷珠，使加热丝与外层金属绝缘，再将上述组件以一定的排列顺序紧密放入紫铜管内部或外部，实现紫铜管温度的均匀分布；将加热丝固定在法兰的引线上，从真空外部加上电压，从而实现了局部加热。

优选的，紫铜管外部缠上需要分析的样品或是在紫铜管内部塞入样品。

有益效果：应用这种技术可以提高加热效率，避免管壁放气的干扰。

附图说明

图1是线型可缠绕类样品7缠绕在紫铜管3上进行加热方案图。

图2是颗粒状等样品7放在紫铜管3内部进行加热方案图。

图3是平面块状样品7放在紫铜管3上进行加热方案图。

以上的图中有：加热丝1、绝缘陶瓷珠2、紫铜管3、法兰、连接件5、引线6、样品7。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作更进一步的说明。

本发明包括需要真空加热的加热丝1、绝缘陶瓷珠2和紫铜管3等部件。

本发明提供的真空内部局部加热方法，能够可实现零件或者器件的在真空环境中的局部加热。被加热的零件或者器件的形状不受限制。该方法包括如下步骤：提供需要在真空中进行加热的加热丝1、绝缘陶瓷珠2和紫铜管3；将需要进行加热的加热丝1、绝缘陶瓷珠2和紫铜管3表面进行清洁处理；加热丝1上穿上绝缘陶瓷珠2，使加热丝1与外层金属绝缘，再将上述组件以一定的排列顺序紧密放入紫铜管3内部或外部，实现紫铜管温度的均匀分布；将加热丝1固定在法兰4的引线6上，从真空外部加上电压，从而实现了局部加热。

紫铜管3外部缠上需要分析的样品或是在紫铜3内部塞入样品。

本发明在进行了各部件的清洁处理后，在金属加热丝上套上绝缘陶瓷珠，使加热丝与外层金属绝缘，再将该组件以一定的排列顺序紧密放入紫铜管内或外，由于紫铜管导热性好，其温度分布均匀。根据样品形状、大小，选择在紫铜管3外部缠上样品(如图1)或是在紫铜管内部塞入样品(如图2)，或可以夹板式加热(如图3)。然后将加热丝通过连接件5固定在真空法兰4的真空一侧的引线6上。这样从真空外部加上电压，便可实现了局部有效加热。