[发明专利]用于激光加工系统的变倍率扩束镜有效
申请号: | 201410795058.X | 申请日: | 2014-12-18 |
公开(公告)号: | CN104503089A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 彭红攀;韩琦琦;王忠贤;王琦 | 申请(专利权)人: | 北京首量科技有限公司 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;G02B19/00 |
代理公司: | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 11282 | 代理人: | 胡静 |
地址: | 101111 北京市通州区中关村*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 激光 加工 系统 倍率 扩束镜 | ||
1.用于激光加工系统的变倍率扩束镜,其特征在于,包括按照光波照射方向依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜,所述第一透镜为双凸透镜,第一透镜的左侧面是曲率半径为23.623mm的凸球面,第一透镜的右侧面是曲率半径为53.463mm的凸球面;所述第二透镜和第三透镜均为弯月形透镜,第二透镜的左侧面是曲率半径为17.189mm的凸球面,第二透镜的右侧面是曲率半径为4.758mm的凹球面;第三透镜的左侧面是曲率半径为1.61mm的凹球面,第三透镜的右侧面是曲率半径为2.55mm的凸球面;所述第四透镜为平凸透镜,第四透镜的左侧面是曲率半径为71.92mm的凸球面,第四透镜的左侧面为平面;第一透镜的左侧面、第二透镜的左侧面、第三透镜的左侧面和第四透镜的左侧面均设置在光波入射的一侧。
2.根据权利要求1所述的变倍率扩束镜,其特征在于,所述第一透镜的焦距为33.8mm、中心厚度为9.96mm。
3.根据权利要求1所述的变倍率扩束镜,其特征在于,所述第二透镜的焦距为-12.35mm、中心厚度为8.87mm。
4.根据权利要求1所述的变倍率扩束镜,其特征在于,所述第三透镜的焦距为-18.76mm、中心厚度为1.508mm。
5.根据权利要求1所述的变倍率扩束镜,其特征在于,所述第四透镜的焦距为62.96mm、中心厚度为10mm。
6.根据权利要求1所述的变倍率扩束镜,其特征在于,所述第一透镜和第四透镜均采用H-K9冕牌玻璃制成,所述第二透镜和第三透镜均采用H-ZF7L重火石牌玻璃制成。
7.根据权利要求1所述的变倍率扩束镜,其特征在于,所述第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜的同轴轴向偏差为-0.05mm至+0.05mm。
8.根据权利要求1或6或7所述的变倍率扩束镜,其特征在于,所述第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜均镀1054nm至1074nm波段的增透膜。
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