[发明专利]复合硬质膜及表面包覆切削工具

权利要求书

1.一种复合硬质膜，其特征在于，

所述复合硬质膜由氧化铝膜及钛氧化物基底膜构成，

所述氧化铝膜，其平均膜厚为0.5～5.0μm，且为α型或α型与γ型的混合相，

所述钛氧化物基底膜形成于该氧化铝膜的正下方且平均膜厚为0.2～2.0μm，

该氧化铝膜通过溶胶-凝胶法形成，利用纳米压痕法测定的硬度H为15GPa以上。

2.根据权利要求1所述的复合硬质膜，其特征在于，

所述氧化铝膜为通过使用氧化铝溶胶的溶胶-凝胶法形成的氧化铝膜，所述氧化铝溶胶含有β-二酮类、β-酮酯类、烷醇胺类的螯合剂中的至少任意一种。

3.根据权利要求1或2所述的复合硬质膜，其特征在于，

所述氧化铝膜中，含有平均粒径为5～20nm的微粒钛氧化物，且所述微粒钛氧化物中的钛在与铝的总量中所占的平均含有比例为2～20原子％。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的复合硬质膜，其特征在于，

形成于所述氧化铝膜的正下方的钛氧化物基底膜为通过溶胶-凝胶法形成的基底膜。

5.一种表面包覆切削工具，其特征在于，

在工具基体表面包覆有权利要求1至4中任一项所述的钛氧化物基底膜，在该钛氧化物基底膜的表面包覆有权利要求1至4中任一项所述的氧化铝膜。