[发明专利]图像感测装置及其制造方法有效
申请号: | 201410798734.9 | 申请日: | 2014-12-19 |
公开(公告)号: | CN105321965B | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 吴翰林;谢锦全;张志清 | 申请(专利权)人: | 采钰科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;赵根喜 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图像 装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种图像感测装置,包括:
一基板,包括一像素阵列,该像素阵列具有多个像素;以及
一导光结构,设置于该基板上,且形成有多个导光管以及围绕该些导光管的多个反光部,其中该些导光管对齐于该像素阵列中的该些像素,又,该导光结构为一感光层,且该些导光管是在该感光层经过一曝光工艺后由该感光层的多个未曝光部分所形成,且该些反光部是在该感光层经过该曝光工艺后由该感光层的多个曝光部分所形成;其中该些导光管的上表面和该些反光部的上表面共同形成该导光结构的一弧形的光入射面。
2.如权利要求1所述的图像感测装置,其中该些导光管的折射率大于该些反光部的折射率。
3.如权利要求2所述的图像感测装置,其中该些导光管的折射率与该些反光部的折射率之间的差值大于0.1且小于0.2。
4.如权利要求1所述的图像感测装置,其中该些导光管的该些上表面和该些反光部的该些上表面共同形成该导光结构的一凹状的光入射面。
5.如权利要求1所述的图像感测装置,其中该些导光管的该些上表面和该些反光部的该些上表面共同形成该导光结构的一凸状的光入射面。
6.如权利要求1所述的图像感测装置,还包括:
一微透镜阵列,设置于该基板与该导光结构之间;以及
一彩色滤光片阵列,设置于该基板与该微透镜阵列之间。
7.如权利要求1所述的图像感测装置,其中该感光层的材质包括聚硅氧烷、二氧化硅、二氧化钛、丙二醇甲醚乙酸酯、二丙酮醇、甲醇、异亚丙基丙酮或上述的组合。
8.一种图像感测装置的制造方法,包括:
提供一基板,其中该基板包括一像素阵列,该像素阵列具有多个像素;
形成一感光层于该基板上;
对该感光层进行一曝光工艺,使得该感光层形成多个导光管以及多个反光部,其中该些导光管对齐于该像素阵列中的该些像素;以及
对该些导光管的上表面和该些反光部的上表面塑型,使得该些导光管的该些上表面和该些反光部的该些上表面共同形成一导光结构的一弧形的光入射面。
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