[发明专利]半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统

说明书

本发明公开了一种半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，包括：服务端，服务端具有FA进程和FA守护进程；FA进程具有重置模块，重置模块用于RemoteServer服务；FA守护进程用于对FA进程进行监控，当FA进程异常时，对异常的FA进程进行重启；工控机，工控机与服务端进行通信，工控机具有Bridge进程，Bridge进程与FA进程进行通信。本发明实施例的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，通过服务端的FA守护进程对FA进程进行监控，在监控到FA进程异常时，能够对异常的FA进程进行重启，保证FA进程稳定可靠且简单便捷，提高使用体验。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统。

背景技术

在半导体领域，工艺设备和传输设备通过各自控制器的通信接口模块相互连接，组成了集簇设备控制程序。同样，集簇设备控制程序与工厂主机Host通过工厂接口模块相连，实现了物理上连接在一起的工厂主机Host、传输控制设备以及工艺设备的相互通信，从而形成整个集成电路制造控制系统。

具体地，相关技术中，参照图1所示，FA(Factory Automation，工厂自动化)系统遵循相关的SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute，半导体制程设备安全准则)标准，通过接口程序实现了工厂主机Host与集簇设备控制软件CTC(Cluster ToolController，集簇设备控制软件)之间无缝的通信。FA通过消息处理模块，任务Job模块的其他模块对Host消息流进行接收并解析，并通过通信模块向Bridge发送控制命令，最终分派给CTC实现设备的控制。同时，CTC可以主动给Bridge发送交互信息，促使Bridge向FA触发交互事件，FA经过业务模块处理后按照SEMI标准转换成消息流发送给工厂主机Host。

然而，在相关技术中，如果FA的IRemoteServer类型服务发生异常，则会导致Bridge无法有效调用服务，并且如果FA整个进程发生异常，则会导致Bridge无法连接FA，从而必须登录服务器手动重启FA进程，操作繁琐，降低了使用体验。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决上述相关技术中的技术问题之一。

为此，本发明的目的在于提出一种的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，该系统在FA进程发生异常时，可以对异常的FA进程进行重启，无需登录服务器手动重启FA进程，简单便捷。

为达到上述目的，本发明实施例提出了一种半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，包括：

服务端，所述服务端具有FA进程和FA守护进程；

所述FA进程具有重置模块，所述重置模块用于重置RemoteServer服务；

所述FA守护进程用于对所述FA进程进行监控，当所述FA进程异常时，对异常的FA进程进行重启；以及

工控机，所述工控机与所述服务端进行通信，所述工控机具有Bridge进程，所述Bridge进程与所述FA进程进行通信。

根据本发明实施例提出的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，通过服务端的FA守护进程对FA进程进行监控，在监控到FA进程异常时，能够对异常的FA进程进行本地重启，无需登录服务器手动重启FA进程，保证FA进程稳定可靠且简单便捷，更加自动化，提高使用体验。

另外，根据本发明上述实施例的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统还可以具有如下附加的技术特征：

进一步地，在本发明的一个实施例中，所述重置模块包括以下一个或多个子模块：InitRemoteServer子模块，用于重启所有服务；以及RestartRemoteServer子模块，用于启动IRemoteServer类型的指定服务。