[发明专利]用于校正激光束的设备以及校正激光束的方法

权利要求书

1.一种用于校正激光束的设备，其特征在于所述设备包括：

激光光源，发射激光；

输出端反射镜，将从所述激光光源发射的激光束反射到基板，其中所述输出端反射镜透射未被反射的剩余激光束；

校正系统，包括至少一个校正透镜且基于所述激光束的输出方向布置在所述输出端反射镜之前，其中所述校正系统收集关于穿过所述输出端反射镜的所述剩余激光束的线束轮廓数据；以及

控制器，连接到所述校正系统且取决于从所述校正系统收集的所述线束轮廓数据的变形而控制所述校正透镜的移动。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述校正系统包括：

感测单元，基于所述激光束的所述输出方向布置在所述输出端反射镜之后，其中所述感测单元收集关于所述剩余激光束的线束轮廓数据且计算激光线束的变化；以及

致动器，连接到所述校正透镜以增大或减小所述激光线束的宽度、斜率和陡度中的至少一个，其中所述致动器在X轴方向、Z轴方向和θ轴方向中的至少一个上致动所述校正透镜。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述校正系统包括布置在所述校正透镜外部的支撑框架，且

所述致动器连接到所述支撑框架以在X轴方向、Z轴方向和θ轴方向中的至少一个上移动所述支撑框架。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述校正透镜包括在所述激光束的所述输出方向上并排布置的第一和第二校正透镜，且所述第一和第二校正透镜相互连结以调整所述激光线束的宽度。

5.根据权利要求2所述的设备，其中所述控制器接收从所述感测单元计算出的所述激光线束的变化，且取决于由所述致动器的移动引起的所述激光线束的所述变化计算致动器的移动距离以控制所述校正透镜的移动。

6.根据权利要求4所述的设备，其中所述控制器通过计算所述激光线束的所述变化来重复校正，直到经由所述致动器的操作实现的所述激光线束的校正值在误差范围内为止。

7.根据权利要求1所述的设备，还包括：

光学系统，处理从所述激光光源发射的激光束的形状和能量分布；以及

基板辐射透镜系统，聚集从所述输出端反射镜反射的激光束以将聚集的激光束输出到基板。

8.一种校正激光束的方法，其特征在于所述方法包括：

收集关于所述激光束当中的穿过反射镜的剩余激光束的线束轮廓数据；

将所收集的线束轮廓数据与现有线束轮廓数据进行比较；

当所述所收集的线束轮廓数据不同于所述现有线束轮廓数据时，计算变形线束轮廓数据的变化；以及

取决于所述变化而校正激光线束的轮廓。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述线束轮廓数据的所述变化的所述计算包括计算所述现有线束轮廓数据与所述所收集的线束轮廓数据之间的差值。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其中所述激光线束的所述校正包括基于所述激光束的输出方向在X轴方向、Z轴方向和θ轴方向中的至少一个上移动在输出反射镜之前的校正透镜。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述激光线束的所述校正包括在所述X轴方向上移动所述校正透镜以增大或减小所述激光线束的宽度。

12.根据权利要求10所述的方法，其中所述激光线束的所述校正包括在所述Z轴方向上移动所述校正透镜以增大或减小所述激光线束的陡度。

13.根据权利要求10所述的方法，其中所述激光线束的所述校正包括在所述θ轴方向上移动所述校正透镜以增大或减小所述激光线束的斜率。

14.根据权利要求10所述的方法，其中所述校正透镜的所述移动包括根据所计算出的变化和由致动器的1毫米移动引起的所述线束轮廓数据的预设变化调整所述致动器的移动值。

15.根据权利要求11所述的方法，其中所述计算使用以下表达式：

<表达式>

取决于线束轮廓数据的变化的致动器调整值＝线束轮廓数据的变化/由致动器的1毫米移动引起的线束轮廓数据的变化。