[发明专利]希尔伯特曲线型片上无源元件地屏蔽结构在审
| 申请号： | 201410810341.5 | 申请日： | 2015-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN104505387A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 韩波;王诗兵;宋有才;赵正平;史晓凤;张媛;李军 | 申请（专利权）人： | 阜阳师范学院 |
| 主分类号： | H01L23/552 | 分类号： | H01L23/552 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 236037 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 希尔伯特 曲线 型片上 无源 元件 屏蔽 结构 | ||
1.一种希尔伯特曲线型片上无源元件地屏蔽结构，所述无源元件包括金属线和衬底，所述地屏蔽结构设置在所述金属线和衬底之间，其特征在于，所述希尔伯特曲线型地屏蔽结构由任意金属层构成，所述希尔伯特曲线的曲线间距为S，线宽为W，n阶希尔伯特曲线其面积为(2n×W+(2n-1)×S)2，根据所述片上无源元件所占面积大小选择不同数量不同阶数的希尔伯特曲线来构成所述地屏蔽结构，所述每个希尔伯特曲线的四角通过所述片上无源元件的金属过孔连接到所述衬底，所述不同阶数的希尔伯特曲线间距为S，构成的面积接近所述片上无源元件占用面积。
2.如权利要求1所述的希尔伯特曲线型片上无源元件地屏蔽结构，其特征在于，所述希尔伯特曲线型地屏蔽结构包括16个四阶希尔伯特曲线与17个三阶希尔伯特曲线，其中每个四阶与三阶希尔伯特曲线的四角通过所述片上无源元件的金属过孔连接到所述衬底。
3.如权利要求2所述的希尔伯特曲线型片上无源元件地屏蔽结构，其特征在于，所述S为2微米，所述W为2-10微米。
4.一种添加权利要求1所述希尔伯特曲线型地屏蔽结构的片上螺旋电感，其特征在于，包括片上电感(1)，金属线(2)和地屏蔽结构(3)，其中，所述片上电感(1)包括螺旋电感线和金属过线，所述螺旋电感线由顶层金属构成，所述金属过线由次顶层金属构成，所述地屏蔽结构(3)由第一层金属构成。
5.如权利要求4所述的希尔伯特曲线型片上无源元件地屏蔽结构，其特征在于，所述片上电感(1)外径为280微米，所述金属线(2)宽为10微米，所述金属线(2)间距S为2微米
6.如权利要求4所述的希尔伯特曲线型片上无源元件地屏蔽结构，其特征在于，所述地屏蔽结构(3)由16个四阶希尔伯特曲线与17个三阶希尔伯特曲线构成，所述希尔伯特曲线内径S与线宽W都选择为2微米。
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