[发明专利]测量分度和具有该测量分度的光电位置测量仪

权利要求书

1.用于在第一方向（X）和垂直于第一方向伸展的第二方向（Y）测量位置的光电位置测量仪的测量分度，其包括具有在第一方向（X）和第二方向(Y)周期性地布设的光栅单元(2)的相栅,其特征在于，所述光栅单元（2）各自具有由线条形成的外部轮廓，所述线条包括两个相对的第一直边（K1）和两个垂直于所述第一直边伸展的相对的第二直边（K2）以及各个第一边（K1）与第二边（K2）之间的连接线（K3），其中所述第一边（K1）和所述连接线（K3）、以及所述第二边（K2）和所述连接线（K3）分别合围成钝角（α），

光栅单元（2）分别由第一表面部分（F1）和第二表面部分（F2）组成，其中所述第一表面部分（F1）由凸出的反射面形成和所述第二表面部分（F2）是将所述外部轮廓包围的反射面，和其中凸出的反射面或将这个面包围的反射面具有所述的外部轮廓，以及

光栅单元（2）第一表面部分（F1）和第二表面部分（F2）被选择使得反射相同的光强度。

2.根据权利要求1所述的测量分度，其特征在于，所述连接线（K3）是直线，和所述钝角（α）为135⁰。

3.根据权利要求1所述的测量分度，其特征在于，所述第一边（K1）的相互距离（A1）与所述第二边（K2）的相互距离（A2）相等。

4.根据权利要求3所述的测量分度，其特征在于，所述外部轮廓

与第一对称轴（S1）镜面对称，所述第一对称轴垂直于所述第一边（K1）伸展，和

与第二对称轴（S2）镜面对称，所述第二对称轴垂直于第二边（K2）伸展，和

与第三对称轴（S3）镜面对称，所述第三对称轴与第一对称轴（S1）呈45⁰伸展，和

与第四对称轴（S4）镜面对称，所述第四对称轴垂直于第三对称轴（S3）伸展。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的测量分度，其特征在于，所述第二边（K2）的长度B分别为所述第一边（K1）的相互距离（A1）的10%到90%，和所述第一边(K1)的长度(C)分别为所述第二边(K2)的相互距离(A2)的10%到90%。

6.根据权利要求5所述的测量分度，其特征在于，所述第二边（K2）的长度B分别为所述第一边（K1）的相互距离（A1）的30%到70%，和所述第一边(K1)的长度(C)分别为所述第二边(K2)的相互距离(A2)的30%到70%。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的测量分度，其特征在于，所述第一边（K1）平行于两个方向（X,Y）中的方向(X)定向和所述第二边(K2)平行于两个方向（X,Y）的另一个方向（Y）定向。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的测量分度，其特征在于，所述第一边（K1）向第一方向（X）倾斜45⁰地定向和所述第二边（K2）向第二方向（Y）倾斜45⁰地定向。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的测量分度，其特征在于，如此形成相栅以抑制第零衍射级。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的测量分度，其特征在于，所述相栅是由两个垂直于第一方向（X）和第二方向（Y）彼此相间隔地布设的反射层（3,4）组成，所述反射层布设在透明的间隔层（5）的两侧。

11.具有根据权利要求1-10中任一项所述的测量分度的光电位置测量仪。