[发明专利]导线结构及其制造方法在审
申请号: | 201410815760.8 | 申请日: | 2014-12-24 |
公开(公告)号: | CN105792510A | 公开(公告)日: | 2016-07-20 |
发明(设计)人: | 王裕铭;林圣玉;陈威远;王凯骏 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H05K1/09 | 分类号: | H05K1/09;H05K3/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 曹玲柱 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导线 结构 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明是有关于一种导线结构及其制造方法,且特别是有关于一种具 有高导电性的细微导线结构及其制造方法。
背景技术
印刷电子产品在未来具有很大的市场潜力,而这些电子产品的共同点 在于体积不断的微型化。为了满足产品更轻、更小、或更薄的设计需求, 产品内的各个部件所占的体积都受到严格的限制。以印刷电子产品中最常 用的导线为例,导线线宽由过去的百微米级,目前在部分产品已被要求缩 小到只剩几个微米等级,衍生而出的是工艺能力与工艺成本的拉锯。印刷 技术具有快速连续生产、低耗能及低污染等优势,被视为下世代电子产品 生产的先进技术。适应微型化的趋势,印刷导线兼顾线宽的缩小与电性的 提升至为重要。
发明内容
本发明是有关于一种导线结构及其制造方法,可通过印刷工艺制作图 案化的触发材料层线路,活化图案化的触发材料层后,在其上方成长一导 电层,所形成的导线结构保持高导电特性。因此,应用实施例的导线结构 作为其细微线路的电子产品可具有良好稳定的导电性,且具有高产品合格 率、低生产成本和工艺简单快速、低污染的优点。
根据本发明,提出一种导线结构,包括一基板;形成于基板上的一图 案化的触发材料层,且图案化的触发材料层至少包括40wt%~90wt%的高 分子材料和10wt%~60wt%的触发子;以及形成于图案化的触发材料层上 的一导电层,导电层的图案是相应于图案化的触发材料层。其中图案化的 触发材料层和上方的导电层形成导线结构,触发子选自有机金属化合物、 金属粒子或其混合物。
根据本发明,提出一种导线结构的制造方法,包括:提供一基板;形 成一图案化的触发材料层于基板上,且图案化的触发材料层至少包括 40wt%~90wt%的高分子材料和10wt%~60wt%的触发子,触发子选自有机 金属化合物、金属粒子或其混合物;活化图案化的触发材料层;和形成一 导电层于图案化的触发材料层上,例如提供一金属离子与图案化的触发材 料层接触,图案化的触发材料层上产生一导电层。
为了对本发明的上述及其他方面有更好的了解,下文特举实施例,并 配合所附附图,作详细说明如下:
附图说明
图1为本发明实施例的导线结构的制造方法流程图。
图2为本发明一实施例的利用凹版转印工艺制造导线结构的示意图。
图3为本发明一实施例的导线结构的制造方法流程图。
图4为绘示依据本发明实施例的制造方法所制得的导线结构的示意 图。
图5为黄光工艺、印刷工艺与本发明工艺所制得的导线其截面积与导 电率的曲线图。
【符号说明】
301:凹版模具
303:转印介质
30:基板
31M:触发材料
31:图案化的触发材料层
31’:活化的图案化的触发材料层
312:高分子材料
314:触发子
314’:活化的触发子
35:导电层
P:导电层与图案化的触发材料层之间的界面
101、103、105、107、401、403、405、407:步骤
具体实施方式
本发明提出一种导线结构及其制造方法,其实施例中细微导线结构可 通过印刷工艺制作图案化触发材料层线路,并直接在其上方成长致密导电 层,因此形成的细微导线结构保持高导电特性,且产品合格率高(没有黄 光工艺产生的切口缺陷而易断线的问题),应用实施例的导线结构作为其 细微线路的电子产品可具有良好稳定的导电性。再者,实施例的制造方法 简单快速、低污染和具低生产成本,非常适合量产。
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