[发明专利]痕量气体传感器光路系统及气室在审
| 申请号： | 201410816989.3 | 申请日： | 2015-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN104502292A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 赵彤宇;刘鑫鑫;詹方易;周慧峰;赵娟娟 | 申请（专利权）人： | 郑州光力科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G01N21/01 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 徐小磊 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 痕量 气体 传感器 系统 | ||
1.痕量气体传感器光路系统，其特征在于：包括入射光纤准直器、出射光纤准直器、前反射镜和后反射镜，所述前反射镜和后反射镜均为凹球面反射镜，且前反射镜与后反射镜的凹球面相对设置；所述前反射镜的镜面上设有两个平行的通孔，分别为入射通孔和出射通孔；所述入射光纤准直器、出射光纤准直器分别与所述入射通孔、出射通孔同轴，且设置在前反射镜远离后反射镜的外侧，用于使入射光纤准直器发射的光束通过前反射镜上的入射通孔射向后反射镜，在前后反射镜之间经数次反射后，通过前反射镜上的出射通孔经出射光纤准直器射出。
2.根据权利要求1所述的痕量气体传感器光路系统，其特征在于：所述前反射镜与后反射镜的凹球面上均镀设有高反射率膜层。
3.根据权利要求1或2所述的痕量气体传感器光路系统，其特征在于：所述前反射镜与后反射镜同光轴设置。
4.根据权利要求3所述的痕量气体传感器光路系统，其特征在于：所述入射通孔与出射通孔以前反射镜的光轴为对称轴对称设置。
5.痕量气体传感器气室，其特征在于：包括由前端面、后端面和侧壁围设形成的用于气体吸收的吸收腔室，所述前端面、后端面上分别安装有前反射镜、后反射镜，所述前反射镜和后反射镜均为凹球面反射镜，且凹球面相对设置；所述前反射镜的镜面上设有两个平行的通孔，分别为入射通孔和出射通孔；所述前反射镜远离后反射镜的外侧设有准直器支架，所述准直器支架上设有入射光纤准直器和出射光纤准直器，所述入射光纤准直器、出射光纤准直器分别与所述入射通孔、出射通孔同轴设置，用于使入射光纤准直器发射的光束通过前反射镜上的入射通孔射向后反射镜，在所述吸收腔室内、前后反射镜之间经数次反射后，通过前反射镜上的出射通孔经出射光纤准直器射出。
6.根据权利要求5所述的痕量气体传感器气室，其特征在于：所述前反射镜与后反射镜的凹球面上均镀设有高反射率膜层。
7.根据权利要求5或6所述的痕量气体传感器气室，其特征在于：所述前反射镜与后反射镜同光轴设置。
8.根据权利要求7所述的痕量气体传感器气室，其特征在于：所述入射通孔与出射通孔以前反射镜的光轴为对称轴对称设置。
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