[发明专利]透射式缺陷检查装置和透射式缺陷检查方法在审
申请号: | 201410817992.7 | 申请日: | 2014-12-24 |
公开(公告)号: | CN105784723A | 公开(公告)日: | 2016-07-20 |
发明(设计)人: | 由良友和;小盐智;北田和生 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 岳雪兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透射 缺陷 检查 装置 方法 | ||
1.一种透射式缺陷检查装置,其特征在于,其在光学显示面板的移动 过程中检测该光学显示面板的缺陷,其具备:
线状照明装置,其向所述光学显示面板射出光;
多个面阵相机,其与所述线状照明装置相对地排列成线状并安装,接收 来自所述线状照明装置的光透射过所述光学显示面板后的透射光,并对所述 光学显示面板进行拍摄;
图像处理部,其处理利用所述面阵相机拍摄的光学显示面板的图像;
控制部,其根据所述光学显示面板的移动速度控制所述面阵相机的拍摄 时机,
所述面阵相机第n次拍摄的所述光学显示面板的图像与第n+1次拍摄的 所述光学显示面板的图像在所述光学显示面板的移动方向上部分重合,其 中,n≥1。
2.如权利要求1所述的透射式缺陷检查装置,其特征在于,所述多个 面阵相机被配置为各自的拍摄范围在所述光学显示面板的宽度方向上彼此 部分重合。
3.如权利要求1或2所述的透射式缺陷检查装置,其特征在于,所述 线状照明装置是被安装为跨越所述光学显示面板的整个宽度的线光源。
4.如权利要求1或2所述的透射式缺陷检查装置,其特征在于,所述 线状照明装置由沿所述光学显示面板的宽度方向排列成线状的多个点光源 构成。
5.如权利要求1或2所述的透射式缺陷检查装置,其特征在于,所述 线状照明装置是金属卤化物灯。
6.如权利要求1或2所述的透射式缺陷检查装置,其特征在于,所述 线状照明装置是LED灯。
7.如权利要求1或2所述的透射式缺陷检查装置,其特征在于,还具 备遮光机构,其设置在所述线状照明装置的上方,仅使从所述线状照明装置 射出的光中朝向所述面阵相机的正面的光通过。
8.如权利要求7所述的透射式缺陷检查装置,其特征在于,所述遮光 机构是带缝遮光板,其具有沿所述线状照明装置的长度方向的狭缝。
9.如权利要求7所述的透射式缺陷检查装置,其特征在于,所述遮光 机构是带孔遮光板,其在与多个所述面阵相机分别对应的位置上具有开口 部。
10.一种透射式缺陷检查方法,其特征在于,利用权利要求1~9中任一 项所述的透射式缺陷检查装置检测光学显示面板的缺陷,
在所述光学显示面板通过线状照明装置和面阵相机之间的过程中,所述 面阵相机接收从线状照明装置射向所述光学显示面板并透射的光,在所述光 学显示面板移动的同时,依次对其规定范围进行拍摄,被拍摄的多个图像数 据被发送到图像处理部,并被合成为所述光学显示面板的整体图像,
所述面阵相机第n次拍摄的所述光学显示面板的图像与第n+1次拍摄的 所述光学显示面板的图像在所述光学显示面板的移动方向上部分重合,其 中,n≥1。
11.如权利要求10所述的透射式缺陷检查方法,其特征在于,所述面阵 相机第n次拍摄的所述光学显示面板的图像与第n+1次拍摄的所述光学显示 面板的图像重合的面积为所述面阵相机的拍摄范围的1/2以上。
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