[发明专利]一种用于微小推力测量的测量装置

权利要求书

1.一种用于微小推力测量的测量装置，其特征在于：包括靶系统、位移传感器系统与靶安装块；其中，靶系统包括靶、弹性梁与垂直角铝；位移传感器系统包括位移传感器、传感器安装杆；

所述靶系统中，垂直角铝为由横板与纵板构成的截面为L型铝件；横板与靶安装块的下表面贴合，横板端面通过靶安装块上设计的定位台阶实现前后方向上的定位；纵板的外侧面上开有竖直定位凹槽；弹性梁与定位凹槽配合设置在定位凹槽中，实现弹性梁的定位固定；并使弹性梁顶端顶住靶安装块底面；弹性梁底端安装有靶；所述位移传感器系统中，传感器安装杆竖直设置，顶端与靶安装块底面固定；传感器安装杆底端通过传感器安装板安装有位移传感器，使位移传感器的测量端正对弹性梁中部。

2.如权利要求1所述一种用于微小推力测量的测量装置，其特征在于：所述弹性梁与传感器通过热防护装置进行热防护。

3.如权利要求1所述一种用于微小推力测量的测量装置，其特征在于：所述传感器安装杆底端端面沿轴向开有螺纹孔，传感器安装板中心位置开有条形阶梯孔，通过螺钉由传感器安装板下方穿过条形阶梯孔，与传感器安装杆底端螺纹孔螺纹连接；由此，通过调整螺钉在阶梯孔所处的位置可实现位移传感器的在前后方向的位置调整。

4.如权利要求1所述一种用于微小推力测量的测量装置，其特征在于：所述位移传感器采用激光位移传感器。

5.如权利要求1所述一种用于微小推力测量的测量装置，其特征在于：所述位移传感器的测量端到弹性梁的距离为35mm。

6.如权利要求1所述一种用于微小推力测量的测量装置，其特征在于：所述位移传感器的截面积为靶的5％。