[发明专利]用于校正线束能量的方法和装置

权利要求书

1.一种校正线束能量的方法，所述方法包括以下步骤：

设置每个衰减器入射角的参考能量强度和参考脉冲形状；

测量激光束，其中以经控制的衰减器控制入射角输出的激光束的能量强度经测量确定为测量能量强度，且所述激光束的脉冲形状经测量确定为测量脉冲形状；

校正衰减器，其中通过使用所述测量能量强度和所述测量脉冲形状来计算校正值以校正所述衰减器控制入射角。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述校正所述衰减器的步骤包括以下步骤：

计算第一校正入射角，其中通过使用指派给所述衰减器控制入射角的所述参考能量强度与以所述衰减器控制入射角输出的所述测量能量强度之间的差来计算所述第一校正入射角；

计算第二校正入射角，其中经由指派给所述衰减器控制入射角的所述参考脉冲形状与以所述衰减器控制入射角输出的所述测量脉冲形状之间的比较来计算所述第二校正入射角；以及

应用衰减器校正，其中通过将所述第一校正入射角和所述第二校正入射角与所述衰减器控制入射角相加来校正所述衰减器控制入射角。

3.根据权利要求2所述的方法，其中重复地执行所述测量所述激光束的步骤、所述计算所述第一校正入射角的步骤、所述计算所述第二校正入射角的步骤和所述应用所述衰减器校正的步骤，直到所述测量能量强度处于预先设置的误差范围内为止。

4.根据权利要求1所述的方法，其中以所述衰减器控制入射角输出的所述激光束是不从镜反射到衬底而是穿过所述镜的激光束，其中所述镜对由产生一种形状和能量分布的激光束的光学系统输出的激光束进行反射。

5.根据权利要求2所述的方法，其中所述计算所述第一校正入射角的步骤包括以下步骤：

计算通过所述参考能量强度的变化除以所述衰减器入射角的变化而获得的入射角相关斜率；

计算指派给值与所述衰减器控制入射角相同的所述衰减器入射角的所述参考能量强度与以所述衰减器控制入射角输出的所述测量能量强度之间的能量强度差；以及

通过所述能量强度差除以所述入射角相关斜率来计算第一校正入射角。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述计算所述第二校正入射角的步骤包括以下步骤：

计算通过将所述参考脉冲形状中的第二峰值的电压除以第一峰值的电压而获得的参考次级峰值电压比；

通过所述参考能量强度的变化除以所述参考次级峰值电压比的变化而计算峰值相关斜率；

计算通过将所述测量脉冲形状中的第二峰值的电压除以其中的第一峰值的电压而获得的测量次级峰值电压比；

通过从所述参考次级峰值电压比减去所述测量次级峰值电压比而计算脉冲形状差；以及

通过所述峰值相关斜率乘以所述脉冲形状差除以所述入射角相关斜率而计算第二校正入射角。

7.根据权利要求1到6任一项所述的方法，其中所述测量能量强度与所述参考能量强度是表示每单位面积能量的能量密度。

8.一种用于校正线束能量的装置，所述装置包括：

激光光源，射出激光束；

衰减器，控制由所述激光光源射出的激光束的入射角以调节所述激光束的强度；

光学系统，处理由所述衰减器射出的所述激光束的形状和能量分布；

光学系统输出端反射镜，将由所述光学系统输出的所述激光束的能量反射到衬底且透射未反射的剩余激光束的能量；

激光监视单元，测量穿过所述光学系统输出端反射镜的所述剩余激光束的能量强度和脉冲形状以分别输出测量能量强度和测量脉冲形状；以及

反馈校正单元，通过使用所述测量能量强度来计算第一校正入射角且使用所述测量脉冲形状来计算第二校正入射角并将所述第一校正入射角和所述第二校正入射角与所述衰减器入射角相加以允许以所述衰减器入射角测量的所述测量能量强度处于预先设置的误差范围内，来校正所述衰减器入射角。

9.根据权利要求8所述的装置，其中所述激光监视单元包括：

分束器，将穿过所述光学系统输出端反射镜的所述剩余激光束划分为第一分束激光束和第二分束激光束以反射一个分束激光束且透射另一个分束激光束；

激光强度监视单元，测量所述第一分束激光束的能量强度以输出所述测量能量强度；以及

脉冲形状监视单元，测量所述第二分束激光束的脉冲形状以输出所述测量脉冲形状。