[发明专利]一种加压夹具及使用该加压夹具固化树脂封装的方法有效
申请号: | 201410827126.6 | 申请日: | 2014-12-25 |
公开(公告)号: | CN104485308B | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 荣志秀 | 申请(专利权)人: | 天津威盛电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/56 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 韩敏 |
地址: | 300385 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 加压 夹具 使用 固化 树脂 封装 方法 | ||
1.一种加压夹具,其特征在于:包括底板和上盖,所述上盖与底板一端铰接,上盖与底板另一端通过卡扣连接,所述底板至少设有一个容纳集成电路板的凹槽,所述凹槽正上方的上盖设有压板,所述压板尺寸大于凹槽尺寸,在闭合上盖后所述压板盖在所述凹槽的上部;
所述压板的四角设有导柱,所述导柱套设有弹簧,所述上盖与导柱相对的位置处设有通孔,所述导柱上端从所述通孔中穿出,所述导柱顶端设有防止导柱从所述通孔脱出的限位块。
2.根据权利要求1所述的加压夹具,其特征在于:所述底板设有八个凹槽,每两个相邻的凹槽之间设有凸起的隔档,所述隔档中部设有缺口,使两个相邻的凹槽连通。
3.一种使用权利要求1所述的加压夹具固化树脂封装的方法,其特征在于:包括以下步骤,
预固化——将液态树脂封装好的集成电路板放置在烤箱内加热,使液态树脂转化为半固态;
安装加压夹具——将树脂封装为半固态的集成电路板取出,放入加压夹具的凹槽内,闭合上盖,使压板压在半固态的树脂封装上;
完全固化——将装好集成电路板的加压夹具放入烤箱内继续加热,直至树脂封装完全固化。
4.根据权利要求3所述的固化树脂封装的方法,其特征在于:所述预固化步骤包括升温、恒温和降温,
升温——在烤箱温度为室温时放入液态树脂封装好的集成电路板,关闭烤箱门后逐渐升高烤箱内温度至115~125℃;
恒温——保持烤箱内115~125℃的温度60秒,使液态树脂转化为半固态;
降温——逐渐降低烤箱温度,当烤箱内温度为55~65℃时打开烤箱门,取出集成电路板。
5.根据权利要求3所述的固化树脂封装的方法,其特征在于:所述完全固化步骤包括低温固化和高温固化,
低温固化——将装好集成电路板的加压夹具放入烤箱内,在115~125℃的温度下加热60秒,然后在30秒内将烤箱内温度升 高到175~185℃;
高温固化——在175~185℃温度下加热60秒,使树脂封装完全固化。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津威盛电子有限公司,未经天津威盛电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410827126.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造