[发明专利]激光光源传输腔室的温控与净化控制方法和系统

权利要求书

1.一种激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，用于实现激光光源中传输腔室内的各模块腔体的气体压力和温度的精确稳定控制，该系统包括：

设置在光路传输通道的模块腔体之前的二级调压阀(5)，用于调节待进入模块腔体的通道中的气体压力；

其特征在于，该系统还包括：

设置在光路传输通道的气体净化装置和模块腔体之间的毛细管，且每个模块腔体之前对应设置一个所述的毛细管，用于保证光路传输腔室气压与外界气压有微正压；以及

设置在光路传输通道的模块腔体之后的节流阀，且每个模块腔体之后对应设置一个所述的节流阀，用于调节各模块腔室与环境大气压的压差。

2.根据权利要求1所述的激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，其中，所述系统还包括设置在光路传输通道的模块腔体之前的热交换器(8)，其中通入工艺冷却水以与待进入模块腔体的腔室气体进行热交换，实现腔室气体温度的调节。

3.根据权利要求2所述的激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，其中，还包括与所述热交换器(8)配套形成循环回路的用于调节回路中工艺冷却水流量的循环泵(23)，以及用于给回路中工艺冷却水加热的加热器(24)。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，其中，所述系统还包括设置在每个模块腔体上的工艺冷却水管道，通过其中循环流动的工艺冷却水，以用于对各模块腔体中的气体进行冷却，并通过精确控制工艺冷却水的流量实现对模块腔体温度的精确控制。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，其中，还包括与所述工艺冷却水管道相连并由此形成循环回路的水泵(21)、过滤器(22)和流量伺服阀(31)，其分别用于泵送、过滤和调节工艺冷却水流量，从而使得工艺冷却水形成循环流动，并通过精确调节工艺冷却水流量调节模块腔体与其热交换热量，实现温度精确控制。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，其中，还包括分流板(31)和集流板(35)，分别用于将管路的PCW分流和给三个模块腔体降温后的PCW集流，管路经分流板(33)后分为三路管道，分别与线宽压窄腔体、MOPA传输模块腔体、光束整形模块腔体外焊接的PCW管道连接，PCW经集流板(35)集流后在PCW回收处(40)回收。

7.一种激光光源的传输腔室内的温控与净化控制方法，用于实现激光光源中传输腔室内的各模块腔体的气体压力和温度的精确稳定控制，其特征在于，该方法包括：

在光路传输通道的气体净化装置和模块腔体之间设置毛细管，且每个模块腔体之前对应设置一个所述的毛细管，通过该毛细管使得光路传输腔室气压与外界气压有微正压；

在光路传输通道的模块腔体之后设置节流阀，且每个模块腔体之后对应设置一个所述的节流阀，通过该节流阀调节各模块腔室与环境大气压的压差。

8.根据权利要求7所述的激光光源的传输腔室内的温控与净化控制方法，其中，还包括在光路传输通道的模块腔体之前设置热交换器(8)，通过该热交换器通入循环流动的工艺冷却水以与待进入模块腔体的腔室气体进行热交换，实现腔室气体温度的调节。

9.根据权利要求7或8所述的激光光源的传输腔室内的温控与净化控制方法，其中，还包括在每个模块腔体上设置的工艺冷却水管道，通过其中循环流动的工艺冷却水，以用于对各模块腔体中的气体进行冷却，并通过精确控制工艺冷却水的流量实现对模块腔体温度的精确控制。