[发明专利]一种氧化铍陶瓷夹持杆及其制作方法

权利要求书

1.一种氧化铍陶瓷夹持杆的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：

A、制备成型用喷雾造粒料：

步骤①、按照重量比氧化铍︰三硅酸镁＝100︰0.5～0.55将两者混匀得混合料；

步骤②、将混合料和去离子水混匀得浆料，向浆料中加入φ4～6mm氧化锆球，球磨浆料至浆料粒度D₅₀不大于1μm，浆料过100～300目筛网，再除铁后即得氧化铍浆料；按照重量比混合料︰去离子水︰φ4～6mm氧化锆球＝1︰0.3～1︰4～10；

步骤③、按照重量体积比氧化铍浆料︰丙烯酸︰聚乙烯醇水溶液︰丙三醇︰油酸︰分散剂︰正辛醇＝100kg︰1kg︰5～10L︰0.2L︰0.3L︰1～3L︰2～5L将其它六种原料加入到氧化铍浆料中混匀得混合浆料，再加入去离子水调节混合浆料的粘度为3～5mPa.s；

步骤④、将调节粘度后的混合浆料喷雾造粒得造粒料，再过100～200目筛网得到成型用喷雾造粒料；

B、加压成型；

C、烧结；

D、按要求磨加工，再切割成夹持杆。

2.根据权利要求1所述的一种氧化铍陶瓷夹持杆的制作方法，其特征在于：步骤A中③，所述的分散剂为硅酸钠、三聚磷酸钠、柠檬酸钠、聚丙烯酸钠或聚羧酸钠中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种氧化铍陶瓷夹持杆的制作方法，其特征在于：步骤A中③，所述的聚乙烯醇水溶液的质量分数为10％。

4.根据权利要求1所述的一种氧化铍陶瓷夹持杆的制作方法，其特征在于：步骤A中④，所述的喷雾造粒的条件为：进口温度190～250℃，出口温度105～130℃，泵压力0.8～1.2MPa，塔内负压保持0～100Pa。

5.根据权利要求1所述的一种氧化铍陶瓷夹持杆的制作方法，其特征在于：步骤B中，所述加压成型的具体步骤为：将步骤④所得成型用喷雾造粒料先干压处理，制成毛坯，再等静压处理。

6.根据权利要求5所述的一种氧化铍陶瓷夹持杆的制作方法，其特征在于：步骤B中，所述的干压处理的条件为：压力500～1000kg/cm²，保压时间5～10s。

7.根据权利要求5所述的一种氧化铍陶瓷夹持杆的制作方法，其特征在于：步骤B中，所述的等静压处理的条件为：最大压力180～200MPa，保压时间30～60s，一级泄压时间15～30s，二级泄压时间10～30s。

8.根据权利要求1所述的一种氧化铍陶瓷夹持杆的制作方法，其特征在于：步骤C中，所述烧结的具体步骤为：将步骤B等静压处理后的坯件分段烧结，第一段：从室温升温至600～650℃，升温速率为30～60℃/h；第二段：再升温至1650～1700℃后保温2～4h，升温速率为80～120℃/h；第三段：自然降温后即可出炉，得到熟坯；将熟坯进行复平处理。

9.根据权利要求8所述的一种氧化铍陶瓷夹持杆的制作方法，其特征在于：步骤C中，所述的复平处理为：将熟坯重叠放置或单独放置，在其上方放置5～10kg的物体，控制温度为1500℃。

10.由权利要求1～9任一项所述的氧化铍陶瓷夹持杆的制作方法制备得到的氧化铍陶瓷夹持杆。