[发明专利]微流控表面增强拉曼散射透明器件结构及其制备方法

权利要求书

1. 一种微流控表面增强拉曼散射透明器件结构，其特征是：包括透明活性基底（1605）以及支撑在所述透明活性基底（1605）上的微流通道结构层（1606），在所述微流通道结构层（1606）内设置若干检测微流道（1201），所述检测微流道（1201）与微流通道结构层（1606）上的入液口（1601）以及出液口（1603）相连通；透明活性基底（1605）与检测微流道（1201）相对应的区域表面上均设置有金属纳米森林结构（601），所述金属纳米森林结构（601）位于入液口（1601）与出液口（1603）之间。

2.根据权利要求1所述的微流控表面增强拉曼散射透明器件结构，其特征是：所述透明活性基底（1605）和纳米森林结构（501）为对用于产生拉曼光谱信号的激光可透过，透过率的范围为20%-100%。

3.根据权利要求1或2所述的微流控表面增强拉曼散射透明器件结构，其特征是：所述检测微流道（1201）在同一个微流控表面增强拉曼散射透明器件结构中的数量为2-20条。

4.根据权利要求3所述的微流控表面增强拉曼散射透明器件结构，其特征是：所述金属层的厚度为5~30nm，纳米森林结构（501）中每个纳米结构的直径小于300nm，每个纳米结构的高度为100nm~2μm。

5.一种微流控表面增强拉曼散射透明器件结构的制备方法，其特征是，所述拉曼散射透明器件结构的制备方法包括如下步骤：

（a）、提供透明活性基底（1605），在所述透明活性基底（1605）上通过间隙引入非均匀刻蚀的方法设置若干金属纳米森林结构（601）；

（b）、提供微通道基板，并利用所述微通道基板制备得到微流通道结构层（1606），所述微流通道结构层（1606）内具有与金属纳米森林结构（601）数量相一致的检测微流道（1201），检测微流道（1201）与微流通道结构层（1606）上的入液口（1601）与出液口（1603）相连通；

（c）、将上述透明活性基底（1605）与微流通道结构层（1606）对准键合，微流通道结构层（1606）支撑在透明活性基底（1605）上，且所述检测微流道（1201）位于金属纳米森林结构（601）的正上方。

6.根据权利要求5所述微流控表面增强拉曼散射透明器件结构的制备方法，其特征是：所述入液口（1601）内设有入液管（1602），在出液口（1603）内设有出液管（1604）。

7.根据权利要求5所述微流控表面增强拉曼散射透明器件结构的制备方法，其特征是，所述步骤（b）中，微流通道结构层（1606）的材料为聚二甲基硅氧烷时，微流通道结构层（1606）通过如下步骤制备得到：

（2-a）、提供第一微通道基板（801），并在所述第一微通道基板（801）表面涂覆光刻胶，且对所述光刻胶进行曝光，以得到所需的光刻胶图形；

（2-b）、利用第一微通道基板（801）上的光刻胶图形为掩膜，对所述第一微通道基板（801）进行各向异性刻蚀，去除第一微通道基板（801）上的光刻胶图形，以在所述第一微通道基板（801）上得到微流通道模具（901）；

（2-c）、以聚二甲基硅氧烷为材料的预聚体（1001）浇注在上述第一微通道基板（801）上，使聚二甲基硅氧烷的预聚体（1001）交联固化，以在第一微通道基板（801）上得到聚合体（1101）；将上述聚合体（1101）从第一微通道基板（801）上剥离，聚合体（1101）内与微流通道模具（901）相对应的位置形成检测微流道（1201），在所述检测微流道（1201）的两端制备与所述检测微流道（1201）相连通的聚合体开口（1102）。