[发明专利]多功能红外气体传感器

权利要求书

1. 一种多功能红外气体传感器，包括红外特征滤光片和热电堆红外探测器，其特征是：热电堆红外探测器包括多个感测单元，每个感测单元包括硅基体、框架、热电堆、支撑臂、红外吸收层和刻蚀开口，硅基体中心通过框架设置刻蚀开口，在硅基体上设置支撑臂，支撑臂上间隔设置有热电堆，红外吸收层悬浮于框架中间，通过支撑臂与框架固定连接，硅基体和悬浮于框架中间的红外吸收层分别构成热电堆的冷结区和热结区。

2.根据权利要1所述的多功能红外气体传感器，其特征是：所述的支撑臂和红外吸收层是由在单晶硅上淀积的氧化硅和氮化硅复合膜构成的。

3.根据权利要求1所述的多功能红外线气体传感器，其特征是：所述的刻蚀开口为干法刻蚀硅基体构成的。

4.根据权利要求1所述的多功能红外气体传感器，其特征是：所述的红外特征滤光片均分为多个区域，每个区域镀制不同的窄带滤光膜，同时每个区域对应设置有多个感测单元。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的多功能红外气体传感器，其特征是：设有多个热电堆红外探测器并联连接，且热电堆红外探测器通过场效应管连接逻辑运算电路，逻辑运算电路再连接自动显示设备、自动报警设备、自动排气扇设备其中的一项或多项。