[发明专利]X射线装置有效

专利信息
申请号: 201410833194.3 申请日: 2014-12-29
公开(公告)号: CN104777179B 公开(公告)日: 2019-01-08
发明(设计)人: D·贝克尔斯;S·普鲁戈维奇 申请(专利权)人: 马尔文帕纳科公司
主分类号: G01N23/207 分类号: G01N23/207
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 吴信刚
地址: 荷兰阿*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要:
搜索关键词: 射线 装置
【权利要求书】:

1.一种X射线衍射装置,包括:

具有焦点的X射线源;

样本台;

焦点与样本台之间的平坦分级多层结构,用于将X射线从焦点引导到样本台上;以及

X射线检测器,用于检测来自安装在样本台上的样本的X射线;

还包括位于X射线源与样本台之间的准直器,其中准直器能够调节为用于Bragg-Brentano几何结构测量的大有效孔径和用于SAXS测量的窄有效孔径,其中所述大有效孔径至少为0.1°并且所述窄有效孔径不大于0.07°。

2.根据权利要求1的X射线衍射装置,其中所述窄有效孔径不大于0.05°。

3.根据权利要求1的X射线衍射装置,其中准直器位于平坦分级多层结构与样本台之间。

4.根据权利要求1的X射线衍射装置,其中准直器位于X射线源与平坦分级多层结构之间。

5.根据权利要求1的X射线衍射装置,其中准直器具有可变宽度的缝隙孔径。

6.根据权利要求1的X射线衍射装置,其中准直器是具有可变宽度和/或高度的孔径的二维准直器。

7.根据权利要求1的X射线衍射装置,还包括布置在平坦分级多层结构与样本台之间的另外的平坦的、抛物线、椭圆或双曲线形状的多层结构。

8.根据权利要求1的X射线衍射装置,其中X射线检测器是位置敏感检测器。

9.一种操作X射线衍射装置的方法,该装置包括:具有焦点的X射线源;样本台;焦点与样本台之间的平坦分级多层结构,用于将X射线从焦点引导到样本台上;X射线检测器,用于检测来自安装在样本台上的样本的X射线;以及位于X射线源与样本台之间的准直器,其中准直器能够调节为用于Bragg-Brentano几何结构测量的大有效孔径和用于小角度X射线散射SAXS测量的窄有效孔径,其中所述大有效孔径至少为0.1°并且所述窄有效孔径不大于0.07°,该方法包括:

调节准直器到宽有效孔径并且以Bragg-Brentano几何结构执行测量;以及

调节准直器到窄有效孔径并且执行SAXS测量。

10.根据权利要求9的方法,还包括利用窄有效孔径执行反射法测量。

11.根据权利要求9的方法,还包括利用二维窄有效孔径执行微斑点分析测量。

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