[发明专利]一种提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法

权利要求书

1.一种提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将腐蚀铝箔浸入到浓度为0.001～0.1mol/L，pH值为3～7的表面活性剂溶液；浸泡完毕后烘干，得到改性的腐蚀铝箔；其中，浸泡温度为0～80℃，浸泡时间为1～60min；

2)将改性的腐蚀铝箔浸入到含Ti前驱体溶液、含Zr的前驱体溶液、含Ta的前驱体溶液、含Nb的前驱体溶液或含Hf的前驱体溶液中，通过物理吸附或化学吸附在铝箔表面沉积一层含Ti、Zr、Nb或Ta的前躯体，接着在300-600℃热处理1～60min，随后在电压为10-600V，电流密度为10-100mA/cm²的条件下阳极氧化，以在改性的腐蚀铝箔上形成具有高介电常数的氧化铝/氧化物复合介质膜，完成腐蚀铝箔的表面改性。

2.根据权利要求1所述的提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法，其特征在于：所述的步骤1)中表面活性剂溶液包括甲基纤维素水溶液、丙基纤维素水溶液、三乙胺羟基丙烯酸纤维素水溶液、三醇硅烷水溶液、聚乙二醇水溶液、聚乙烯醇水溶液、聚丙烯酸水溶液、环糊精水溶液、葡萄糖水溶液、Triton X-100水溶液、对甲基苯磺酸水溶液、十二烷基苯磺酸水溶液或琥珀酸二异辛酯磺酸水溶液。

3.根据权利要求1所述的提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法，其特征在于：所述的步骤1)中烘干温度为30～200℃。

4.根据权利要求1所述的提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法，其特征在于：所述的步骤2)中含Ti前驱体溶液采用硫酸钛水溶液、四氯化钛水溶液或三氯化钛水溶液；含Zr的前驱体溶液采用硫酸锆水溶液、硝酸氧锆的水溶液、碳酸锆铵水溶液或碳酸锆水溶液；含Ta的前驱体溶液采用五氯化钽的正丁醇溶液、溴化钽水溶液或氟化钽的硝酸溶液；含Nb的前驱体溶液采用五氯化铌水溶液或铌酸钠水溶液；含Hf的前驱体溶液采用四氯化铪水溶液或碱式硝酸铪的盐酸溶液。

5.根据权利要求1所述的提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法，其特征在于：所述的步骤2)中含Ti前驱体溶液的浓度为1mmol/L-100mmol/L。