[发明专利]用于工具部件的异常检测的方法和系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体而言涉及一种用于工具部件的 异常检测的方法和系统。

背景技术

在半导体工艺制程中可能用到各种工具/硬件，这些工具/硬件常 常可能在工作过程中出现异常，从而影响整个制程。因此，需要进行 异常检测并解决该异常问题。然而，这些工具通常包括多个不同的部 件，任何部件都可能出现异常。现有的异常检测方法是基于工程经验 对这些不同的部件逐个进行检查。这样的检测方法非常耗时，工作量 大且效率低下。

发明内容

针对现有技术的不足，一方面，本发明提供一种用于工具部件的 异常检测的方法。所述方法包括：基于与所述工具的所有部件相关的 质量信息数据分析并确定所述工具的各个部件的异常频度级别 (occurrencelevel)；以及基于所述各个部件的异常频度级别筛选出风 险部件。

在本发明的一个实施例中，所述方法进一步包括：基于所述风险 部件各自的寿命时间和/或已使用时间筛选出高风险部件。

在本发明的一个实施例中，所述高风险部件的筛选进一步基于所 述风险部件的寿命时间与已使用时间的时间差。

在本发明的一个实施例中，所述方法进一步包括：基于所述风险 部件的寿命时间与已使用时间的时间差对所述风险部件进行排序，以 确定异常检测优先级。

在本发明的一个实施例中，所述风险部件的筛选进一步基于所述 各个部件的异常频度级别是否高于预定阈值。

在本发明的一个实施例中，所述预定阈值基于不同部件而不同。

在本发明的一个实施例中，所述质量信息数据包括报警信息数 据，并且所述异常频度级别为报警频度级别。

在本发明的一个实施例中，所述质量信息数据还包括报废(scrap) 信息数据和/或工具参数信息数据。

另一方面，本发明提供一种用于工具部件的异常检测的系统。所 述系统包括：数据分析模块，用于基于与所述工具的所有部件相关的 质量信息数据分析并确定所述工具的各个部件的异常频度级别；以及 风险部件筛选模块，用于基于所述各个部件的异常频度级别筛选出风 险部件。

在本发明的一个实施例中，所述风险部件筛选模块进一步用于基 于所述风险部件各自的寿命时间和/或已使用时间筛选出高风险部 件。

本发明所提供的用于工具部件的异常检测的方法和系统可以在 工具部件的异常检测中缩短检测时间，高效地检测出工具的异常部 件。

附图说明

本发明的下列附图在此作为本发明的一部分用于理解本发明。附 图中示出了本发明的实施例及其描述，用来解释本发明的原理。

附图中：

图1示出了根据本发明一个实施例的用于工具部件的异常检测 的方法的流程图；以及

图2示出了根据本发明另一个实施例的用于工具部件的异常检 测的方法的流程图。

具体实施方式

在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为 彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明 可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避 免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。

应当理解的是，本发明能够以不同形式实施，而不应当解释为局 限于这里提出的实施例。相反地，提供这些实施例将使公开彻底和完 全，并且将本发明的范围完全地传递给本领域技术人员。

在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本发 明的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该” 也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术 语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、 整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其 它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。 在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。

为了彻底理解本发明，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详 细的结构，以便阐释本发明提出的技术方案。本发明的较佳实施例详 细描述如下，然而除了这些详细描述外，本发明还可以具有其他实施 方式。