[发明专利]一种宏微两级驱动精密定位机构

权利要求书

1.一种宏微两级驱动精密定位机构，其特征在于，包括压电驱动器(5)、减震系统(1)基座(2)、气浮导轨(3)、宏定动位系统、微动定位滑块(6)、支架(8)和激光干涉测量仪(7)；

基座(2)通过螺钉固定连接在减震系统(1)的上端面，气浮导轨(3)通过螺钉固定连接在基座(2)安装平面的一端上，支架8通过螺钉固定连接在基座(2)安装平面的另一端上，激光干涉仪通过螺钉固定连接在支架(8)上，微动定位滑块(6)与气浮导轨(3)间隙配合；

宏动定位系统(4)包括宏动气浮滑块(9)、柔性球头铰(10)、间隙调整钉(11)、宏动定位钳制滑块(12)、两根钳制导轨(13)、直线电机(14)、钳制导轨滑块(15)和钳制器(16)；

宏动气浮滑块(9)与气浮导轨(3)间隙配合，宏动气浮滑块(9)与宏动定位钳制滑块(12)通过柔性球头铰(10)和间隙调整钉(11)连接，直线电机(14)的动子与宏动定位钳制滑块(12)固定连接，直线电机(14)的定子通过螺钉与基座(2)固定连接，两根钳制导轨(13)相对于直线电机(14)对称的通过螺钉固定连接在基座(2)上；

钳制器(16)的一端在钳制导轨(13)上，另一端通过螺钉固定连接在宏动定位钳制滑块(12)的安装面上；

压电驱动器(5)一端与微动定位滑块(6)固定连接，压电驱动器(5)的另一端与宏动气浮滑块(9)固定连接。

2.根据权利要求1所述一种宏微两级驱动精密定位机构，其特征在于，所述柔性球头铰(10)包括圆柱定位面(1001)、球面(1002)、螺纹部(1003)、圆锥面(1004)和狭缝(1005)；圆柱定位面(1001)在柔性球头铰(10)的上部，球面(1002)在柔性球头铰(10)的下部，球面(1002)上圆周均布四条狭缝(1005)，柔性球头铰(10)的中心轴位置为镂空孔的，镂空孔的上端有螺纹部(1003)，镂空孔的下端为圆锥面(1004)。

3.根据权利要求1所述一种宏微两级驱动精密定位机构，其特征在于，所述间隙调整钉(11)的上端为间隙调整钉螺纹部(1101)，间隙调整钉(11)的下端为间隙螺钉圆锥面(1102)，间隙调整钉(11)的顶端加工有内六角扳手的工作孔(1103)；间隙调整钉螺纹部(1101)与柔性球头铰(10)的镂空孔的上端的螺纹部(1003)相同；间隙调整钉圆锥面(1102)与柔性球头铰(10)的镂空孔的下端圆锥面(1004)的圆锥度相同，且间隙调整钉圆锥面(1102)的大端直径比柔性球头铰(10)的圆锥面(1004)的大端直径大1mm-2mm。

4.根据权利要求1所述一种宏微两级驱动精密定位机构，其特征在于，所述宏动气浮滑块(9)与宏动定位钳制滑块(12)通过柔性球头铰(10)和间隙调整钉(11)连接具体为：柔性球头铰(10)的上部圆柱面定位到宏动气浮滑块(9)上，柔性球头铰(10)的下部球面(1002)与宏动定位钳制滑块球面(1201)配合形成球铰；间隙调整钉圆锥面(1102)与柔性球头铰(10)的圆锥面(1004)配合，间隙调整钉螺纹部(1101)与柔性球头铰(10)的螺纹部(1003)旋合。