[发明专利]一种重复可调式的镀膜仿面形工装

说明书

技术领域

本发明属于光学镀膜领域，具体涉及一种重复可调式的镀膜仿面形工装。

背景技术

随着光电产业的迅速发展，使得光学元件的重要性日益提升。镀膜作为光学加工的最后一步，所镀膜层质量对光学元件的光学性能来说是十分重要的。在大口径曲面元件镀膜中，在整个曲面上镀膜的膜厚均匀一致性是难点之一，需要大量实验模拟予以优化。

在目前使用的方面形镀膜工装中存在以下缺陷:仿面形夹具的尺寸固定，难以模拟多种曲率半径和不同口径的镀膜基片；在反复的加热、镀膜过程中，仿面形夹具容易发生变形。

发明内容

本发明的目的是提供一种重复可调式的镀膜仿面形工装，解决现有技术仿面形夹具难以模拟多种曲率半径和不同口径的镀膜基片，在反复的加热、镀膜过程中，容易发生变形的技术问题。

本发明一种重复可调式的镀膜仿面形工装包括行星盘、多个可调式镜座和镀膜基片；

多个可调式镜座通过螺杆和螺母的连接方式从行星盘中央以螺旋放射状排列，镀膜基片在可调式镜座上。

所述行星盘为圆盘形，行星盘侧面圆周均布四个凹槽挂钩，四个凹槽挂钩与镀膜机悬挂装置进行连接，盘内以螺旋放射状分布多个连接孔。

所述可调式镜座包括连接螺杆、连接构件、连接紧固螺母、角度调节螺母和镜座；镜座与四个连接构件分别通过角度调节螺母固定连接，四个连接螺杆分别与四个连接构件通过紧固螺母固定连接；角度调节螺母用于调节镜座的角度；所述多个连接孔为连接螺杆的连接孔。

所述多个可调式镜座的倾斜角度不同，不同的可调式镜座的倾斜角度与对应大口径曲面元件相应位置的面形角度相同。

所述多个可调式镜座的数量根据模拟实验的大口径曲面元件的口径和进行实验模拟的镀膜基片的位置步长确定。

本发明的有益技术效果：本发明对大口径曲面元件进行模拟仿面形镀膜实验中，能够自由选择所模拟面形的曲率半径和镀膜口径，一套本工装能够模拟任意口径和曲率半径的曲面面形，降低了工装成本；由于每个镜座的角度都是能够调节的，因此有效地避免了由于旋转、加热等导致的工装变形。

附图说明

图1为本发明一种重复可调式的镀膜仿面形工装对元件进行镀膜的结构图；

图2为本发明一种重复可调式的镀膜仿面形工装的可调式镜座处于水平状态的结构图；

图3为本发明一种重复可调式的镀膜仿面形工装的可调式镜座处于倾斜状态的结构图；

图4为本发明一种重复可调式的镀膜仿面形工装的行星盘的结构图；

其中，1、行星盘，101、凹槽挂钩，102、连接孔，2、连接螺母，3、镀膜基片，4、可调式镜座，401、连接螺杆，402、连接构件，403、紧固螺母，404、角度调节螺母，405、镜座。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步阐述。

参见附图1、附图2、附图3和附图4，本发明一种重复可调式的镀膜仿面形工装包括行星盘1、多个可调式镜座4和镀膜基片3；

多个可调式镜座4通过螺杆和螺母的连接方式从行星盘1中央以螺旋放射状排列，镀膜基片3在可调式镜座4上。

所述行星盘1为圆盘形，行星盘1侧面圆周均布四个凹槽挂钩101，四个凹槽挂钩101与镀膜机悬挂装置进行连接，盘内以螺旋放射状分布多个连接孔102，四个凹槽挂钩101与镀膜机悬挂装置进行连接。

所述可调式镜座4包括连接螺杆401、连接构件402、连接紧固螺母403、角度调节螺母404和镜座405；镜座405与四个连接构件402分别通过角度调节螺母404固定连接，四个连接螺杆401分别与四个连接构件402通过连接紧固螺母403固定连接；角度调节螺母404用于调节镜座405的角度；所述多个连接孔102为连接螺杆401的连接孔102。

所述多个可调式镜座4的倾斜角度不同，不同的可调式镜座4的倾斜角度与对应大口径曲面元件相应位置的面形角度相同。

所述多个可调式镜座4的数量根据模拟实验的大口径去曲面元件的口径和进行实验模拟的镀膜基片3的位置确定。

所述镀膜样品为圆柱形，直径为1英寸，厚度在1mm-5mmm之间。

本工装在进行大口径曲面元件仿面形镀膜实验的全过程为：根据需要模拟的大口径曲面元件的口径和需要进行实验模拟的镀膜基片3位置，确定放置可调式镜座4的数量、位置和步长。