[发明专利]基板件的表面处理装置在审
| 申请号： | 201410838353.9 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN105807565A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 清川桂史;林俊男;坪井弘一 | 申请（专利权）人： | 爱客易股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板件 表面 处理 装置 | ||
【说明书】：
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